РОЗДІЛ 5

ВИМІРЮВАННЯ ТИСКУ РОЗРІДЖЕНИХ ГАЗІВ

Прилади, за допомогою яких вимірюється тиск, називаються манометрами. Прилади для вимірювання тиску газу нижче атмосферного називаються вакууметрами. Конструктивно вакууметри складаються з двох елементів: манометричного перетворювача тиску і вимірювального блоку.

За принципом дії вакууметры можна звести в наступні класи:

Деформаційні, такі, що використовують як чутливий елемент сільфон, мембрану і тому подібне, в яких деформація чутливого елементу служить мірою тиску.

Рідинні(гідростатичні), такі, що безпосередньо вимірюють тиск (U-подібні вакууметри і їх модифікації).

Компресійні, дія яких заснована на законах ізотермічного стиснення ідеального газу (вакууметр Мак-Леода).

Теплові вакууметри, що використовують залежність теплопровідності газу від тиску. Вони розділяються на термопарні і вакууметри опору.

Іонізаційні, в яких використовується іонізація газу. Вони поділяються у свою чергу на:

а) електророзрядні, принцип дії яких оснований на залежності параметрів електричного розряду в розрідженому газі від тиску;

б) електронні іонізаційні, іонізація газів, в яких здійснюється потоком електронів, що прискорюються електричним полем;

в) магнітно-.іонізаційні, дія яких основана на залежності іонного струму електричного розряду в магнітному полі від вимірюваного тиску;

г) радіоізотопні дія яких основана на іонізації газу радіоактивним джерелом ізалежності іонного струму електричного розряду від вимірюваного тиску;

Дата добавления: 2015-07-20