Турбомолекулярні насоси

Основним недоліком молекулярних насосів, що створюють конструктивні й експлуатаційні труднощі, є малий зазор між ротором і статором; цей недолік у значній мірі усунутий у турбомолекулярних насосах.

Конструкція турбомолекулярного насосу (рис.3.28) була розроблена в 1958 році.

Рисунок 3.28 – Конструкція турбомолекулярного насосу.

Робочий механізм такого насосу складається із пакетів роторних 1 та статорних 2 дисків, в яких в радіальному напрямку виконані косі прорізи (канали) таким чином, що стінки їх утворюють заданий кут з віссю обертання ротора. Кожна пара дисків ротора і статора утворює одну ступінь відкачки.

Прорізи в статорних дисках знаходяться симетрично по відношенню до прорізів роторних дисків. Молекули газу, що потрапляють із вхідного патрубку, набувають в косих прорізах складову швидкості в напрямку розміщення вихідного патрубку.

Молекули газу через вхідний отвір насоса потрапляють на лопатки ротора, що швидко обертаються, як і у молекулярному насосі. Молекули одержують при зіткненні з лопатками ротора тангенціальні складові швидкостей у напрямку виходу з насоса. Після багаторазових відбиттів від лопаток ротора молекули направляються лопатками статора молекули доходять двома потоками (ліворуч і праворуч) до торців насоса, а звідти - до виходу з насосу, де забезпечується форвакуум (порядку 10^{-2 мм.рт.ст).}

Зазор між ротором та статором складає близько 1мм. При таких зазорах роторним пакетам можна надавати дуже великі швидкості обертання. Це є великою перевагою турбомолекулярного насосу перед молекулярними. Швидкість обертання роторних пакетів може досягати 100 тис. обертів/хв. Число ступенів відкачки в одному турбомолекулярному насосі може досягати 30-40, що дозволяє отримати високого значення коефіцієнта стиснення.

Дата добавления: 2015-07-20