Аппаратура для определения герметичности

Наиболее широко применяется масс-спектрометрический течеиска­тель, обладающий самой высокой чувствительностью, рис.2.51. Минимальные

Рис. 2.51.

обнаруживаемые течи равны 10^-13 м³∙Па/с. Электроны, эмитируемые като­дом 9, попадают в камеру ионизации 8. Источник питания катода 11 подключен к анализатору через фланец 10. В случае негерметичности вакуумной системы, обдуваемой пробным газом, молекулы гелия через фланец 5 проникают в камеру ионизации. Положительные ионы гелия ускоряющим напряжением направляются в камеру магнитного анализатора 6. Ускоряющее напряжение Еу и магнитная индукция В подбираются таким образом, чтобы ионы гелия, прошедшие через входную щель 7, двигаясь по траектории 4, попали в выходную щель 2. Остаточные газы по траектории 3 раз­ряжаются на стенках анализатора. Коллектор ионов 1 соединяется че­рез электрометрический каскад с блоком усиления и измерения ионно­го тока.

В отличие от анализаторов парциальных давлений, которые долж­ны иметь высокую разрешающую способность и перестраиваться на раз­личные массовые числа, датчик течеискателя настраивается только на пробный газ. При этом входная и выходная щели могут быть расшире­ны, что увеличивает чувствительность течеискателя. Этот способ по­вышения чувствительности можно применять для гелия, не имеющего в составе воздуха веществ с близкими массовыми числами.

Течеискатель подключается и испытуемому обьекту, рис.2.52., с помощью фланца 1. Для предварительной градуировки может применяться гелиевая течь 12, подключенная через клапан 13. Для дросселирования больших потоков, поступающих в течеискатель, служит клапан-натекатель 2. Ловушка 3 с насосом 10, подключенным через клапан 11, используется для создания рабочего давления 10 Па, измеряемого преобразователем 4 и необходимого для работы масспектрометрической камеры 5.

Рис.2.52.

Форвакуумный насос 8 обеспечивает через клапан 9 работу высокова­куумного пароструйного насоса 10 и через клапан 6 - байпасную откачку камеры 5. Работоспособность насоса 8 можно определить с по­мощью манометра 7. Вакуумная система течеискателя предназна­чена для откачки масс-спектрометрической камеры и, как правило, не может быть использована для откачки испытуемого объекта, который должен иметь собственную откачную систему.

Дата добавления: 2015-07-20