Методы течеискания

При изготовлении вакуумных систем из-за пор или трещин в ма­териалах возможно появление течей. Из-за малых размеров дефектов, вызывающих течи, обнаружить визуально их практически невозможно. Для определения места течей разработаны следующие методы течеиска­ния: а) пробного газа; б) высокочастотного разряда; в) люми­несцентный; г) радиоизотопный; д) пузырьковый.

Метод пробного газа получил наиболее широкое распространение, рис. 2.50.

Рис. 2.50.

После получения вакуума в испытуемом объекте место, проверяемое на наличие течи, обдувается пробным газом, который через дефект начинает поступать в обьект и регистрируется масс-спектрометром. Для предотвращения повышения давления проверяемый объект должен находиться под непрерывной откачкой. Основным пробным газом является гелий. Он безопасен в работе, хорошо проникает через течи, у него низкая адсорбируемость.

При использовании метода пробного газа следует учитывать инерционность испытаний и невысокую точность нахождения места те­чи. Для уточнения места поверхность покрывают специальной вакуум­ной замазкой, которая в момент прекращения проникновения пробного газа фиксирует место течи. Так можно определить координаты места течи с точностью до нескольких миллиметров.

Вместо пробных газов иногда используют пробные жидкости - спирт, эфир, бензин, ацетон. При этом время проникновения жидкости может достигать нескольких часов. Поэтому пробные жидкости исполь­зуют для индикации грубых течей при высоких давлениях.

Метод высокочастотного разряда заключается в том, что при приближении электрода высокочастотного трансформатора к месту течи образуется направленный разряд. Появление разряда связано с пони­жением давления воздуха в месте течи и улучшением условий электри­ческого пробоя газового промежутка. Этот метод удобен для опреде­ления течей в стеклянных вакуумных системах.

Люминесцентный метод использует проникновение раствора люми­нофора в капиллярные течи. Проверяемый обьект длительное время вы­держивается в растворе люминофора. После удаления люминофора с по­верхности обьекта заполненные капилляры обнаруживаются в виде то­чек или полос при облучении ртутно-кварцевыми лампами. Люминофор дает желтое или красное свечение.

Радиоизотопный метод обнаружения течей состоит в том, что испытуемые обьекты в течение некоторого времени выдерживаются в атмосфере радиоактивного газа. После удаления радиоактивного газа и тщательной очистки поверхности от радиоактивных загрязнений из­лучающими остаются только негерметичные приборы. Метод применяется при автоматической проверке на герметичность малогабаритных полуп­роводниковых приборов.

Пузырьковый метод наиболее простой. В испытуемом обьекте соз­дается избыточное давление газа, и обьект погружается в жидкость. Диаметр пузырька в месте его образования равен диаметру капилляра. Воду без образования пузырьков можно нагреть до 80ºС, масло до 200ºС.

Дата добавления: 2015-07-20