Метод постоянного обьема

Насос 1 и клапан 2 используют для получения вакуума в обьеме 3. В процессе измерения клапан 2 закрывается, рис. 2.47. Газ из баллона 6 через

Рис. 2.47.

натекатель 4, поступающий в обьем 3, вызывает увеличение давления Р. Если поток газа постоянен, то происходит линейное повышение давления (кривая 1).

По скорости повышения давления определяют газовый поток Q=VdP/dt.

В момент прекращения откачки вакуумной камеры (t=0) в ней возникает газовыделение адсорбированных газов, приводящее к нелинейному повышению давления (кривая 2), рис. 2.48. Суммарное изменение давления идет согласно

Рис. 2.48.

кривой 3. Для надежного измерения потока методом постоянного объема газовыделение должно быть мало по сравнению с измеряемым газовым потоком. Этого можно достичь длительной предварительной откачкой вакуумной камеры.

Методы измерения газовых потоков, точность которых может быть обеспечена только после предварительной градуировки, называются косвенными. Чувствительность по потоку приборов для косвенных из­мерений K_Q=a/Q, где a - показания прибора в делениях самой чувствительной шкалы; Q - газовый поток, определенный абсолютным мето­дом. В процессе градуировки определяется диапазон потоков, в котором сохраняется линейность градуировочной характеристики.

Проверка градуировки в процессе эксплуатации осуществляется с помощью калиброванных течей. Например, в стеклянный баллон 1, заполненный гелием при давлении 10⁵ Па, впаяна через переход 2 кварцевая трубка 3, рис. 2.48. Гелий диффундирует сквозь плавленый кварц, величина потока 10^-6...10^-9 м³∙Па/с.

Рис. 2.49.

Дата добавления: 2015-07-20