Молекулярная откачка

Удаление газа из вакуумной системы с помощью движущихся по­верхностей называется молекулярной откачкой. Существуют две схемы молекулярной откачки.

Первая - откачка через канал, одна из стенок которого совер­шает относительное перемещение со скоростью v_р параллельно оси канала, рис.2.9.

Рис.2.9.

Молекулы газа в канале соударяются с движущейся поверхностью, получая приращение количества движения. При этом создается перепад давлений: Р₂>Р₁. Максимальная быстрота действия пропорциональна скорости стенки vр:

S_max = γF_кv_р, (2.10)

где F_к - площадь поперечного сечения канала;

γ = f_д/(f_д+f_н).

Здесь f_д - движущаяся, f_н - неподвижная часть периметра канала. Номинальная быстрота действия

. (2.11)

Вторая - использует для удаления газов зависимость проводи­мости наклонного канала, движущегося перпендикулярно газовому по­току со скоростью v_р от направления течения газа, рис.2.10. Примем, что пластину с наклонным каналом с обеих сторон бомбардируют перпендикулярно к поверхности пластины потоки молекул газа q₁ и q₂. Остановив пластину и сложив вектор относительной скорости молекул v_р с векторами тепло­вых скоростей молекул v_ар,

получим измененное направление движения молекул, поток q₁ входит параллельно,

Рис. 2.10.

а поток q₂ перпен­дикулярно оси канала. Это приводит к тому, что проводимости канала для потоков q₁ и q₂ различны. Для установившегося режима течения газа

Q = S_нР₁ = U₁₂P₁-U₂₁P₂. (2.12)

где U₁₂ и U₂₁ - проводимости канала для потоков q1 и q2 соот­ветственно. Откуда быстрота действия

S_н = U₁₂-U₂₁Р₂/Р₁. (2.13)

Дата добавления: 2015-07-20