Область давлений, используемых в современной вакуумной технике, 105...10-12 Па. Измерение давлений в таком широком диапазоне нельзя обеспечить одним прибором. Приборы для измерения общих давлений называют вакуумметрами. Они обычно состоят из двух частей: манометрического преобразователя и измерительной установки. Вакуумметры измеряют общее давление газов в вакуумной системе.
По методу измерения разделяются на абсолютные и относительные. Показания абсолютных приборов не зависят от рода газа и могут быть заранее рассчитаны. В приборах для относительных измерений используют зависимость параметров некоторых физических процессов, протекающих в вакууме, от давления. Они нуждаются в градуировке по образцовым приборам.
Диапазон рабочих давлений вакуумметров:
гидростатических - 105...10 Па; деформационных - 105...10-1 Па;
компрессионных - 10...10-3 Па; тепловых - 103...10-1 Па;
электронных - 10...10-8 Па; магнитных - 10...10-11 Па.
радиоизотопных - 105...10-2 Па;
Деформационные преобразователи
К ним относятся трубчатые и мембранные преобразователи, рис. 2.34. Линейность показаний этих приборов сохраняется при небольших деформациях, поэтому приборы измеряют давления, лежащие в пределах 2...3 порядков.
Рис. 2.34.
Дата добавления: 2015-07-20; просмотров: 90 | Нарушение авторских прав
| <== предыдущая страница | | | следующая страница ==> |
| Криогенные насосы | | | Электронные преобразователи |