Герметичность вакуумных систем

Требования к герметичности вакуумных систем формируются с учетом условий их дальнейшей эксплуатации. В техническом задании на разработку вакуумной системы, работающей под непрерывной откач­кой, задается рабочее давление Рраб, при котором должен осущест­вляться технологический процесс. Для обеспечения эффективного использования откачных средств необходимо обеспечить предельное давление

Р_пр≥0,1Р_раб. (2.20)

Если вакуумная система хорошо обезгажена и газовыделением можно пренебречь по сравнению с натеканием, тогда допустимый газо­вый поток, поступающий через все течи, имеющиеся в вакуумной уста­новке,

Q_н≤P_пр∙S_о=0,1P_раб∙S_о, (2.21)

где S_о - быстрота откачки обьекта.

Если технические требования связаны с поддержанием не общего, а парциального давления Рп какого-то компонента смеси, содержание которого равно g, то

Q_н≤0,1∙Pп∙S_o/g. (2.22)

В вакуумных системах объемом V, работающих в течение времени t без непрерывной откачки, для допустимого возрастания давления Р газовый поток

Q_н≤V∙DP/Dt. (2.23)

Если требования ставятся по парциальным давлениям, то анало­гично (2.21) получим

Q_н≤V∙DP/(Dtg). (2.24)

При совпадении условий испытаний на герметичность с рабочими условиями уравнения (2.21)...(2.24) определяют требования к поро­говой чувствительности испытаний. Если контроль на герметичность производится с помощью пробного газа или при другой

температуре и перепаде давлений, то требования к пороговой чувствительности не­обходимо уточнить по уравнению

(2.25)

Q_п DP_пєU_п

_{---- = -------, (2.25)}

Q_в DР_вєU_в

где U_в, U_п - проводимость течи по воздуху и пробному газу, ∆Р_в,

∆Р_п - перепад давлений по воздуху и пробному газу.

Дата добавления: 2015-07-20