Влияние плазмы тлеющего разряда на электрические свойства тонких пленок.

Министерство образования Республики Беларусь

Учреждение образования

«Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины»

А.В. РОГАЧЕВ, Н.Н. ФЕДОСЕНКО,М.А.ЯРМОЛЕНКО

Основы корпускулярно-фотонных и ионно-лучевых технологий

Гомель 2012

УДК ______________

ББК _______________

Рецензент:

кафедра оптики учреждения образования «Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины»

Рекомендовано к изданию научно-методическим советом учреждения образования «Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины»

Практ. пособ. по вып. лаб. работ для студентов 3-го курса специальности 1-31 04 01-02 «Физика (производственная деятельность)», для студентов 4-го курса специальности Н.02.03.00«Физическая электроника» / А.В. Рогачев, Н.Н. Федосенко, М.А. Ярмоленко: Мин. образов. РБ.– Гомель: УО «ГГУ им. Ф. Скорины», 2012. –с.

Практическое пособие по курсу «Основы корпускулярно-фотонных и ионно-лучевых технологий» включает семь лабораторных работ по базовым разделам курса.

Ó А.В. Рогачев, Н.Н. Федосенко, 2008

Ó Учреждение образования

«ГГУ им. Ф. Скорины»

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ...........................................
ТЕМА 1. ВЛИЯНИЕ ПЛАЗМЫ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА НА ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК........
ТЕМА 2. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ТОНКИХ ПЛЕНОК.....................................
ТЕМА 3. ПРОЧНОСТНЫЕ И ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ РЕЖИМАХ............................................
ТЕМА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ ЯВЛЕНИЙ МАССОПЕРЕНОСА ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ..........
ТЕМА 5. ИЗМЕРЕНИЕ ПОРОГОВЫХ ЗНАЧЕНИЙ ЛУЧЕВОЙ СТОЙКОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ..........
ТЕМА 6. ВЛИЯНИЕ ЛАЗЕРНОГО ОТЖИГА НА ЛУЧЕВУЮ СТОЙКОСТЬ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК.............
ТЕМА 7. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК...................

ВВЕДЕНИЕ

Технологии тонких плёнок являются одной из наиболее интенсивно развивающихся областей техники. Они нашли широкое применение в машино- и приборостроении, микроэлектронике, лазерной технике и медици­не. Корпускулярно-фотонные и ионно-лучевые технологии тонких плёнок позволяют получать эффективные приборы, инструменты ме­ханизмы, обладающие уникальными свойствами. Изучение технологии получения тонких плёнок является неотъемлемой частью современного образования специалиста в области новых материалов и технологий.

Целью спецкурса является овладение студентами знаниями в области физических свойств и технологий тонких плёнок.

Лабораторная работа № 1

Влияние плазмы тлеющего разряда на электрические свойства тонких пленок.

Цель работы: Освоить методику измерения электрического соп­ротивления тонких пленок, проанализировать влияние плазмы тлею­щего разряда на электрическое сопротивление пленок, полученных методом лазерного испарения.

Приборы и принадлежности: установка УВН-73П-2, алюминие­вые электроды (Al 99) блок питания ВС-23, кислородный баллон с редуктором, лазер ЛГН-703, таблетки из In₂O₃ легированные Sn (5%), подложки из стекла К8, измерительный зонд, для опре­деления величины удельного сопротивления.

Дата добавления: 2015-08-05