Контроль качества поверхности по картинам отражения когерентного света лазера

Оптическая микроскопия используется для контроля неровности пластин кремния. Микронеровности не должны превышать 10^-9 м. Лазер создает пучок света, кот расширяется калиматором. Далее свет проходит через полупрозрачное зеркало и отражается от исследуемой пластины кремния. Далее отраженный от пластины свет снова попадает на зеркало и затем на экран. Интерференция проходит между лучами отраженными от выступов и от впадин на пластине. Если бы шероховатости не было бы и пластина была бы хорошо отполирована, то изображение состояла бы из повторяющихся фрагментов, а не из фигур с неровными краями. В случае необходимости метод может использоваться для контроля многослойных структур. В этом случае интерферируют не лучи, отраженные от разных точек поверхности, а лучи, отраженные от всевозможных неоднородностей внутри пленки. По этой схеме может контролироваться форма области эмиттера внутри области базы и форма области базы внутри области коллектора. По этой же схеме контролируют наличие пыли и пузырьков в слое фоторезистора, так как это может привести к формированию ненужных отверстий в оксидной маске.

6 ) Микроскопы светлого поля, микроскопы темного поля По принцип построения изображения бывают микроскопы светлого поля, микроскопы темного поля.

В основном, это связано с физико-химическими явлениями, которые возникают при воздействии светового потока на объект. При этом световой поток также может быть подвержен изменению, как по форме, так и по своим физическим свойствам. В таком случае микроскопы можно разделить следующим образом.

Микроскопы светлого поля обеспечивают следующую картину — на светлом фоне более темное изображение объекта. Основные условия освещения: это обычный прямо проходящий свет, изменения в котором могут быть связаны только с длиной волны светового потока, определяемой применением в осветительной системе широкополосных светофильтров из обычного цветного стекла. Редко используются узкополосные специальные светофильтры (интерференционные). Классическая схема подобного микроскопа делает его базовым для обеспечения условий получения различных методов контрастирования.

Микроскопы с методом темного поля (Термин «темнопольный микроскоп») гарантируют такое изображение — на темном фоне можно наблюдать более светлое изображение объекта или ярко блестящий контур объекта. Основные условия освещения: а) в микроскопах проходящего света — обычный прямо проходящий свет полностью перекрывается до того, как попадает на объект; б) в микроскопах отраженного света — обычный свет, проходя через кольцевую диафрагму с непрозрачным диском, по размеру перекрывающим выходной зрачок объектива.

7) Флуоресцентная микроскопия. Флуоресцентные микроскопы могут быть отражаемого и проходящего света. Принцип их действия основывается на том, что исслед. Объект облучают коротковолновым светом (УФ). Под воздействием УФ света с наружных орбит атомов исслед. материала выбиваются электроны. На освобод. места с более высоких орбит сваливаются электроны, отдающие свой избыток энергии в окр. пространство на частоте υ₂.

Квант hυ₁, выбивающий электрон, соответствует УФ свету. Недостаток: под воздействием УФ излучения образцы «отбеливаются».

Основные требования к таким микроскопам:

1) Источник УФ должен вызывать флуоресценцию.

2) λ возбуждаемого излучения должна быть короче λ флуоресценции.

Дата добавления: 2015-10-23