Wή – доля энергии, уносимой из твёрдого тела обратно рассеянными электронами, и определяется только значением η.

Тогда из выражения (2.26) можно получить

G_m = 2 Е₁ (1−0,5 η – 0,4 η²) (2.27)

Нормированное распределение удельных потерь по глубине приведено на

рис.2.2 при разных значениях коэффициента обратного рассеивания η.

Рис.2.2. Нормированное распределение удельных потерь по глубине

R_хэ – экстраполированный пробег электронов, R_хэ = (Р+1)

С увеличением коэффициента неупругого отражения максимум распределения сдвигается к поверхности обрабатываемого твердого тела.

Распределение тока и мощности пучка по поверхности и глубине твёрдого тела.

Если на твердое тело падает электронный пучок осемметричной формы с гауссовым распределением плотности тока j по радиусу, то

j (r) = j_m exp , (2.28)

где j_m =

i ₁ – ток первичных электронов,

r – расстояние (координата) от центра пучка,

r ₀ – радиус электронного пучка.

И если r₀ >> R_xmax, то пространственное распределение мощности, поглощенной в единице объема, будет

Р (r,x) = Р_m exp , (2.29)

где Р_m =

Р_е =

В другом крайнем случае при r₀ << R_xmax имеем:

Р(r, x) = Р_m exp , (2.30)

где Р_m = 2 ()r₀² P_e (2.31)

Максимальное поглощение энергии лежит на оси пучка, но не на поверхности мишени, а под ней.

Дата добавления: 2015-10-24