Поток газа, поступающего в вакуумную систему суммируется из

1 потока газов поступающих из обработанных деталей Qизд в вакууме (если таковые есть)

2 газоотделения стенок вакуумной системы Qгаз обращенных в вакуумную полость

3 потока газов, натекающих в систему Qнат

Q∑= Qизд +Qгаз+ Qнат=Рн.минЅн=Р1Ѕо

где Рн.мин – наименьшее давление, установившиеся в сечении входного патрубка насоса;

Ѕн – быстрота откачки насоса при Рн. мин;

Р1 – давление в откачиваемом объеме;

Ѕо – эффективная быстрота откачки объема при Р1.

Qизд=f(m,qизд,e)/t где

m – масса изделия; qизд – удельное газовыделение см³/г;

e - коэффициент учитывающий неравномерность процесса газовыделение; t – время.

Qгаз=qгазF мм.рт.ст.л/сек

qгаз – удельное газовыделение с единицы площади поверхности стенки вакуумной камеры мм.рт.ст.л/см²сек;

F – площадь.

При проектном расчете величину газовыделения с поверхностей, имеющих комнатную температуру принимают постоянной во времени. Для газов Qгаз определяют используя qгаз после 1час откачки.

Поток Qнат, натекающий в вакуумную обычно газа по характеристикам элементов вакуумной системы рассчитывается.

В случае их отсутствия равным или несколько большим чувствительности течеискателя, которым предполагается осуществлять проверку системы.

Найдя Q∑ - суммарный поток газов, поступающую в вакуумную систему определяют эффективную быстроту откачки Ѕ0 и затем находят Ѕн

Ѕ0=k Ѕн

k – коэффициент использования насоса;

k=0.5 для высоковакуумных;

k=0.8―0.9 для механических форвакуумных.

Рассмотренная методика предполагает, что скорость суммарного газовыделения меняется незначительно!

Если же скорость газовыделения - var то расчетные формулы другие.

Следует помнить что:

Газовыделение зависит от

а) материала

б) технологической обработки

в) состояния атм в которой находятся материал до его помещения в вакуумную камеру;

Скорость газовыделения пропорциональна истинной поверхности материала;

Скорость газовыделения возрастает с повышением температуры;

Скорость газовыделения постепенно уменьшается со временем;

5 С достаточной для практики точносмтью можно принять, что скорость газовыделения при Р<10ˉ³ мм. рт. ст. не зависит от Р (при больших газовыделениях).

Вакуумные насосы, работа которых основана на использовании закона Бойля-Мариота.

Поршневые насосы.

Теоретически при n→∞ Pn→0

Однако необходимо учитывать:

Конечные значения упругости пара уплотняющей смазки

2. наличие ’’вредного’’ пространства ∆V из которого газ в нижнем положении поршня не удаляется. Давление во вредном пространстве = атм (иначе клапан к2 не откроется)

3. натекание.

Дата добавления: 2015-07-20