Типові вакуумні системи

Численні вакуумні системи можна розподілити за ступенем отриманого вакууму на низько-, середньо-, високовакуумні й надвисокого вакууму.

Низьковакуумні систем мають в основному один низьковакуумний насос і робочий тиск, що створюється у них не нижче за ~ Торр.

Середньовакуумні системи мають два насоси, один з яких створює низький (попередній) вакуум, а інший – середній вакуум, тому такі системи ще називають системами низького й середнього вакууму. Робочий тиск у таких системах можна знизити до ~ Торр.

Рисунок 2- Схема вакуумної системи

Рис. 17.2

Високовакуумні системи дозволяють створювати як високий вакуум, так і попередні ступені вакуума. Вони мають додатково до всіх елементів середньовакуумних систем ще високовакуумний насос і дозволяють знизити тиск до ~ Торр. Прикладом такої вакуумної системи може бути наведена на рис. 17.2. До її складу входять такі елементи: обертовий насос низького вакууму 1, комутаційні клапани 2 - 9, уловлювачі пари 10, 12, форвакуумний балон 13, манометричні перетворювачі 14 – 19, насоси для отримання середнього 20 і високого 21 вакууму, увід переміщень 22, електричний увід 22, газоаналізатор 24, технологічна вакуумна камера 25 і кріогенний уловлювач 26. Уловлювач пари 10 запобігає потраплянню пари робочої рідини насоса 20 до обертового насоса 1, уловлювач 11 запобігає потраплянню пари робочої рідини насоса 21 до вакуумної камери, а уловлювач 12 запобігає як потраплянню пари робочої рідини насоса 20 до вакуумної камери, так і пари робочої рідини насоса 21 до насоса 20. Кріогенний уловлювач 26 дозволяє підвищити ступінь вакууму. Манометричні перетворювачі 14 - 19 необхідні як для перевірки і контролю роботи вакуумних насосів, так і для визначення тиску у форвакуумному балоні та вакуумній камері, відповідно. За допомогою комутаційних клапанів можна використовувати вакуумну систему для отримання у вакуумній камері окремо відповідного ступеня вакууму, тобто або низького, або середнього, або високого, підключаючи до роботи той чи інший вакуумний насос. При створенні середнього вакууму наявність форвакуумного балона запобігає порушенню роботи системи при виникненні короткочасної зупинки в роботі низьковакуумного насоса.

Вакуумні системи, в яких можна створювати тиск нижчий ніж у високовакуумних відносяться до систем надвисокого вакууму. Вони обов’язково мають вакуумні камери, що можуть прогріватися з метою зменшення газовиділення конструктивних елементів.

Дата добавления: 2015-07-20