Вимірювання надвисокого вакууму.

Вимірювання надвисокого вакууму здійснюється електронними іонізаційними і магнітними електророзрядними вакуумметрами. Нижня межа тиску у перших визначається фотоелектронним струмом з іонного колектора під дією рентгенівського випромінювання з анода (що виникає при його електронному бомбардуванні). Існують іонізаційні вакуумметри спеціальної конструкції, в яких фоновий струм понижений. Найбільшого поширення набув манометр Байярда - Альперта; колектор іонів в нім є тонким осьовим стрижнем, на який потрапляє лише мала частина рентгенівського випромінювання анода. Нижня межа вимірювань ~10^{-10 мм рт. ст. Модулюючи іонний струм в манометрі Байярда - Альперта за допомогою спеціального електроду, вдається вимірювати тиск до 10-11 мм.рт.ст. Придушення фонового струму електричним полем додаткового електроду (супрессора) дозволяє вимірювати ще нижчий тиск (особливо у поєднанні з методом модуляції). Створені конструкції, в яких колектор екранований від попадання на нього рентгенівського випромінювання з анода. У манометрі Редхеда іони з області іонізації витягуються через отвір в екрані і за допомогою півсферичного рефлектора фокусуються на тонкий дротяний колектор. У манометрі Хельмера іонний потік, що виходить з отвору в екрані, відхиляється за допомогою 90º}-ного кутового електростатичного дефлектора і прямує до колектора. У манометрі Грошковського тонкий дротяний колектор розташований напроти отвору в торці анодної сітки і захищений від рентгенівського випромінювання скляною трубкою. Описані прилади дозволяють вимірювати тиск до 10^{-12 мм.рт. ст., а в окремих випадках до 10-13 мм.рт.ст.}

Значне зменшення нижньої межі вимірюваного тиску може бути досягнуте за рахунок збільшення довжини пробігу електронів. У орбітронному манометрі подовження досягається за допомогою електричного поля, а в іонізаційному магнетронному манометрі (манометр Лафферті) - за допомогою магнітного поля. Цими приладами можна вимірювати тиск до 10^-12-10^{-13 мм.рт.cт. Магнітні електророзрядні вакуумметри, вживані для вимірювання Н. в., мають ряд особливостей: щоб забезпечити запалення і підтримку розряду при дуже низькому тиску, збільшують розміри розрядного проміжку, підвищують анодну напругу (5-6 кВ) і напруженість магнітного поля (>1000 э). Для виключення фонового струму, пов'язаного з тунельною емісієюз ділянок катода, розташованих поблизу анода, ці ділянки оточують заземленими екранами.}

Для вимірювання парціанального тиску газів в умовах Н. в. застосовуються масспектрометри, наприклад омегатроном вдається вимірювати тиск до 10^{-10 мм.рт.ст., а статичним, квадрупольним і ін. масспектрометрами - до 10-12}-10^{-13 мм.рт.cт.}

Дата добавления: 2015-07-20