Магнітні вакуумметри

Принцип роботи даних вакуумметрів оснований на залежності засомтійного газового розряду в перехресних магнітному і електричному полях від тиску. Електродні схеми, що забезпечують підтримку самостійного газового розряду при високому та надвисокому вакуумі бувають декількох типів.

Рис.4.10 - Електродні схеми магнітних вакуумметрів: комірка Пенінга (а), магнетронний перетворювач (б),інверсно-магнетронний перетворювач

На анод подається позитивна напруга U=+(2 - 6) кВ. Катод заземлений і з’єднаний з входом підсилювача постійного струму. Електрони, що виходить з холодного катоду і ті, що з’являються в об’ємі в результаті даної іонізації прискорюються прикладеною до аноду напругою і потрапляють на анод тільки після багаточислених коливань навколо нього, внаслідок наявності магнітного поля. Циліндрична форма аноду забезпечує стійкість горіння розряду до тиску 10^-7 мм рт. ст. Позитивні іони, що утворюються в результаті зіткнення атомів та молекул з електронами рухаються до катоду (їх маса більше ніж електронів, тому магнітне поле не впливає на траєкторію руху).

Датчики магнітних перетворювачів для більш низьких тисків мають допоміжний запалювальний електрод. Ним може бути тонкий електрод, який при швидкому нагріванні виділяє адсорбовані гази і визване цим підвищення тиску полегшує загорання розряду. нижня межа вимірювання в сучасних магнітних вакуумметрах може досягати 10^-11 Па.

Переваги магнітних вакуумметрів:

1) прості в експлуатації;

2) не бояться напускання повітря у вакуумну камеру.

Недоліки

1) не стабільно працюють через замаслювання електрода, що бомбардується іонами (корпусу або катоду);

2) селективність роботи (різна чутливість до різних газів);

3) чутливість гірша ніж у іонізаційного вакуумметра.

Дата добавления: 2015-07-20