Технология изготовления прозрачного кварцевого стекла плазмохимическим и парофазный методами.

Парофазный метод. В пламя водородно-кислородной горелки подаётся смесь газов. Этим методом можно получить легированные стёкла. SiCl4+O2; SiCl4+TiCl4. Недостатки: 1. Стёкла поглощают излучения в ИК области за счёт гидроксильных групп. При получении легированного стекла в установку попадает смесь газов.

Плазмо-химический метод. Наплавление кварцевого стекла осуществляется в высокотемпературной плазме. Для получения стекла используют SiCl4+O2.

1-корпус печи(водоохлаждамый),2-индуктор,3-футеровка,4-кварцевая трубка,5-подложка,6-наплавляемое кварцевое стекло,7-графитовая трубка.

Внутрь печи с постоянной скоростью подают O2. В электрическом поле высокой частоты происходит ионизация и образуется плазма с t=10000˚С. В эту плазму подают смесь газов, в результате чего образуется SiO2, которая осаждается на подложки, формируя блок кварцевого стекла. Этим методом получают стёкла, прозрачные во всех областях.

Технология изготовления прозрачного кварцевого стекла электрохимическим и газопламенный методами. Технологические аспекты плавки кварцевой крупки в газопламенных, стержневых и тигельных электропечах.

Дата добавления: 2015-07-11