Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 9

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Основные методы изготовления элементов микромеханики, базовые технологические процессы.

2. Формирование защитных масок. Форма и ориентация на подложке маскирующих покрытий.

3. Микромеханические акселерометры, основные конструкции. Принцип функционирования.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

_________________________________________________________________________________

МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

____________________________________________________________________

ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 10

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Жидкостное химическое травление (анизотропное травление, изотропное травление).

2. Методы получения заданной толщины структуры КНИ.

3. Микромеханические фильтры, резонаторы, тактильные датчики.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

____________________________________________________________________

ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 11

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Основные требования к материалам. Выбор материалов и технологии.

2. Структуры кремний на изоляторе. Определение, назначение, классификация, преимущества.

3. Микрозатворы, микромеханические переключатели.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

_________________________________________________________________________________

МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

____________________________________________________________________

ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 12

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Методы формирования элементов со сложным профилем.

2. Метод формирования структур SIMOX.

3. Микрофлюидные чипы, микроструйные смесители, микронасосы, микродозаторы

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

____________________________________________________________________

ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 13

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Материалы, используемые для изготовления элементов и компонентов МЭМС.

2. Технология изготовления многослойных структур. Определение, назначение.

3. Микромеханические актюаторы, назначение, основные элементы конструкций.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

_________________________________________________________________________________

МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

____________________________________________________________________

ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 14

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Диэлектрические материалы для изготовления МЭМС.

2. Метод формирования структур ZMR.

3. Основные параметры микромеханических датчиков.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

____________________________________________________________________

ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 15

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Структура МЭМС. Номенклатура изготавливаемых приборов и устройств МЭМС.

2. Плазмохимическое травление. Электрохимическое травление.

3. Методы возбуждения механических перемещений.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

_________________________________________________________________________________

МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

____________________________________________________________________

Дата добавления: 2015-10-29