Порядок выполнения лабораторного задания

Для выполнения лабораторного задания предоставляются об­разцы фотошаблонов, помещенные в пластмассовые кассеты. Об­разцы фотошаблонов выполнены на фотоэмульсионных пленках и диазопленках и представляют собой образцы рабочих ФШ, предна­значенные для получения рисунка на фоторезисте. Зеркальные ФШ в образцах отмечены индексом «0». Все фотошаблоны пронумеро­ваны: 1-12.

Во время работы вынимать образцы ФШ из кассет и брать в руки нельзя, т.к. это приводит к их порче.

В порядке предварительной подготовки необходимо тщатель­но изучить основные положения технологии производства фото­шаблонов, изложенные в разделе «Теоретические сведения» данной лабораторной работы. В порядке выполнения домашнего задания готовятся таблицы по форме I-VI.

А. В процессе визуального изучения образцов ФШ определя­ются следующие индивидуальные признаки ФШ:

1. Изображение рисунка какого слоя выполнено на образце
ФШ.

2. В позитивном или негативном изображении выполнен рисунок на образце ФШ.

По маркировке на образце фотошаблона определяется ориен­тация рисунка относительно координат. Зеркальный слой маркиру­ется индексом «О». По окончании изучения образцов и определения вида изображения и типа ФШ данные о фотошаблонах заносятся в таблицу I.

Б. В процессе выполнения данного пункта лабораторного за­дания определяются необходимые типы фотошаблонов для изготов­ления слоев MПП известными технологическими методами нега­тивным, позитивным, ПАФОС, тентинг и производится выбор адек­ватных ФШ из двенадцати, представленных в образцах ФШ. Данные о выбранных образцах ФШ заносятся в таблицы, выполненные по форме II-V. Для выполнения данного пункта задания изучите раздел теории: «Характеристики и требования к ФШ».

Г. Для выполнения данного пункта лабораторного задания ознакомьтесь с описанием отсчетного микроскопа МИР-2. Возьмите образцы ФШ с рисунком наружн

ого слоя, выполненные в позитив­ном и негативном вариантах и образцы внутренних слоев на фотоэмульсионной пленке и на диазопленке, выполненные в позитивном варианте.

1. На ФШ наружных слоев проведите измерения диаметров Д
контактных площадок, соответствующих КП под сквозное сверле­ние в слоях ПП.

2. На ФШ внутренних слоев проведите измерения диаметров,d контактных площадок, соответствующих КП внутренних переходов в слоях ПП, и измерьте ширину линий Н, изображение которых соответствует проводникам на слоях ПП. Проведите измерение зазора h, между контактной площадкой d и линией (проводником). Запишите результаты измерений в таблицу VI.

3. Выберите из образцов ФШ с реперным знаком в виде кре­ста, относительно которого пробивают базовые отверстия БО.

Д. Ответьте на контрольные вопросы.

Дата добавления: 2015-09-02