Волоконно-оптические датчики на основе микромеханических резонаторов, возбуждаемых светом

В последние годы широкое развитие получили работы по созданию нового класса ВОД на основе микромеханических резонаторов с частотным кодированием выходного сигнала [37]. Микрорезонатором (МР) чаще всего служит микромостик или микроконсоль, изготовляемые методом анизотропного травления в пластине из монокристаллического кремния. Под действием модулированного оптического излучения в МР возбуждаются изгибные колебания, механизм такого возбуждения главным образом фототермичный. При поглощении пластиной МР оптического излучения ее освещенная сторона оказывается сильнее прогретой, что приводит к возникновению большого механического напряжения, связанного с температурным расширением.

В связи с этим в пластине возникает изгибный момент сил, изменяющийся в фазе с модулированным оптическим излучением, который приводит к механическим колебаниям МР.

Внешнее воздействие (давление, температура, ускорение и т.п.) преобразуется во внутреннее механическое напряжение МР, что приводит к изменению его собственной резонансной частоты, определяемой размерами МР и его физическими свойствами.

Факторами, определяющими качество чувствительного элемента (МР), являются резонансная частота его собственных колебаний и добротность. Типичные значения собственных частот МР лежат в пределах 10³…10⁵ Гц, а добротностей вплоть до 2∙10⁴.

При разработке микрорезонаторных ВОД применяют оптические методы возбуждения колебаний и съема информации.

Возбуждение МР осуществляется модулированным оптическим излучением в режимах вынужденных и свободных колебаний.

Поскольку типичное значение ширины МР составляет (20…100) мкм, что хорошо согласуется с размером световедущей жилы многомодового оптического волокна, то для возбуждения МР широко используются полупроводниковые лазеры и светодиоды с мощностью 1 мВт.

В связи с малой амплитудой колебаний МР (менее 0,1 мкм) используют интерференционный съем информации. Однако такой съем требует специальных мер по компенсации или предотвращению смещений рабочей точки, происходящих под воздействием факторов окружающей среды. На рис. 3.6 изображена схема ВОД на основе МР.

Когерентное излучение лазера вводиться в волоконный световод, по которому распространяется, и в микрорезонатор. Выходной торец волокна и частично отражающая поверхность МР образуют интерферометр Фабри-Перо. При колебаниях пластины микрорезонатора излучение, отраженное интерферометром, оказывается промодулированным. Распространяясь обратно по волокну, часть его с помощью волоконного ответвителя попадает на фотоприемник (ФП), далее информационный сигнал обрабатывается анализатором спектра.

На этом принципе был создан ВОД для измерения давления с высокой степенью точности (0,05%) в широком диапазоне давлений, который пригоден для аэрокосмической техники.

Чувствительный элемент ВОД выполнен в виде расположенных в непосредственной близости микромостика и микроконсоли, изготовленных методом анизотропного травления в кремниевой мембране. Частоты собственных колебаний микромостика и микроконсоли составляют примерно 30 кГц и 190 кГц соответственно. Датчик имеет частотный выход сигнала, т.е. информация о воздействующей величине выдается в виде изменения резонансной частоты МР.

Дальнейшее развитие этого направления связано с созданием самовозбуждающихся микрорезонаторных датчиков на основе автоколебательной системы волоконных лазер – микрорезонаторная структура, в которой происходит автомодуляция параметров оптического излучения [38,39]. Зависимость частоты автомодуляции F от характеристик микрорезонаторных структур, селективно чувствительных к внешним воздействиям, позволяет рассматривать волоконно-оптические автоколебательные системы в качестве базовых при создании микрорезонаторных волоконно-оптических датчиков с частотным способом представления информации.

Установлено, что при изменении собственной частоты акустических колебаний Δ f _р вследствие внешних воздействий на МРС (Δ f _р/ f _р << 1), приращение частоты автомодуляции Δ F определяется из соотношения

(3.9)

Основным источником флуктуаций частоты автомодуляции F является нестабильность средней мощности излучения волоконно-оптического лазера, стабилизация которой с точностью до 1% позволит уменьшить относительные флуктуации частоты до (Δ F / F)_фл≤10^-5.

На рис. 3.7 представлена схема преобразований энергии автоколебательной системы волоконно-оптический лазер – микрорезонаторная структура.

Как видно из рис. 3.8, условия резонансной автомодуляции реализуются в вариантах трехзеркального волоконно-оптического резонатора ВОЛ с МРС (рис. 3.8, а), так и двухзеркального резонатора (рис. 3.8, б), имеющих оптическую связь через интерферометр Фабри–Перо или коллиматор.

Условия возникновения автомодуляции сводятся к следующим для системы ВОЛ–МРС с оптической связью через ИФП: 1) частота релаксационных колебаний ВОЛ (или ее гармоник) близка к резонансной частоте МРС f _р≈ nf _рел, где n =1,2,3…) 2) рабочая точка ИФП расположена на оп
ределенных ветвях интерферограммы, периодичных с периодом ИФП λ/2; 3) оптическая мощность, падающая на ИФП, превышает пороговое значение.

Для системы ВОЛ–МРС с оптической связью через коллиматор, в которой устанавливается автоколебательный режим, необходимо выполнение следующих условий:

1) исходный угол между осью пучка и нормалью к поверхности МРС находиться в интервале (Θ ₁, Θ ₂), границы которой расположены в пределах дифракционной расходимости пучка и зависят от характеристик МРС и параметров волоконного резонатора ВОЛ;

2) резонансная частота МРС близка к частоте релаксационных колебаний ВОЛ или ее гармоникам: f _р≈ nf _рел;

3) падающая на МРС мощность излучения превышает пороговый уровень W _п, зависящий от характеристик МРС волоконного резонатора.

Соотношение f _р≈ nf _рел показывает, что в рассматриваемых системах автоколебания возбуждаются в условиях резонансного взаимодействия ВОЛ и МРС. При этом в условиях резонанса (f _р≈ f _рел) частота автомодуляции интенсивности ВОЛ F практически совпадает с f _р≈ F, в то время как при f _р≈ nf _рел (n ≠1) выполняется соотношение F ≈(1/ n) f _р.

Представляется перспективным применение в микрорезонаторных ВОД автогенераторного типа волоконно-оптических лазеров (ВОЛ), обладающих рядом уникальных свойств, позволяющих, в частности:

1) обеспечить эффективное оптическое согласование МР с ВОЛ, тем самым получить оптическую обратную связь между ними;

2) оптимизировать длину волны излучения λ, благодаря возможности значительной перестройки спектрального диапазона генерации ВОЛ;

3) в широких пределах изменять параметры лазера: выходная мощность излучения, частота релаксационных колебаний, длина волоконного резонатора ВОЛ (до 100 м более) и т.д.

Эти особенности приводят к новым свойствам систем типа ВОЛ–микрорезонатор, в частности возможность автоколебательного режима с резонансной частотой МР.

Дата добавления: 2015-08-13