Вакуумдық жүйе

Нитрид металдарынан жасалған қабықшалардың үлгілерін дайындау үшін, өзінің вакуумдық жүйесі, газдық қоспаны беру жүйесі, тұндырудың магнетрондық жүйесі және үлгілерді тасымалдау жүйесі бариондық-плазмалық қондырғы жасалды(6 сурет).

  6-сурет. Нитридтарды алу үшін иондық-плазмалық қондырғы  

Вакуумдықжүйе көлемі 24 л жұмыс камерасынан және өзінің форвакуумды және диффузиялы насосы мен жұмыс камерасын май буынан қорғайтын азоттық тұзағы бар, қайта сорудыңекісатылы жүйесінен тұрады. Жұмыс камерасында вакуумды алу үшін процессін басқару вакуумдық жүйенің клапандарының коммутациясы арқылы жүргізіледі. (сурет 7, 1-8). Вакуумдық бақылау ПМИ-2 және ПМТ-2 манометриялық шамдар арқылы жүзеге асады.

Вакуумдық жүйе келесі түрде іске асады: форвакуумдық насос К8 клапаны арқылы бірінші вакуумға дейін диффузиялық насосты тартып шығарады, содан кейін диффузиондық насос қызады. Диффузиялық насостың жұмыс температурасына жеткенде (160^оС), байпастық клапанның К7 көмегімен алдын ала жұмыс камерасының 2-3 Па дейін қайта сорылуыжүргізіледі, олар Р1 мен Р2 шамдар көмегімен бақыланады. Жұмыс камерасында қажетті вакуумға жеткен кезде К7 клапаны жабылады және К4 клапаны ашылады. Жұмыс камерасында вакуумның қажетті мәніне жету ионизацияланған шам Р3 (ПМИ-2). арқылы белгіленеді. Вакуумдық жүйе жұмыс камерасын 3*10^-4 Па вакуумдық камераға дейін қайта соруды қамтамасыз етеді. Қайта сору жүйесі қолмен де автоматты түрде де жүргізілуі мүмкін.

РК–жұмыс камерасы, НД – диффузиялық насос, ФН – форвакуумды насос, ФБ – форвакуумды баллон, 1-8 – вакуумдық жүйе клапандарының коммутациясы,P1,P2,P4 –ПМТ-2-нің термобулық тетіктері, Р3 – ПМИ-2-нің ионазицондық тетіктері, АУ – азоттық тұзақ. 7-сурет–Вакуумдық жүйенің сызбасы

Дата добавления: 2015-07-12