Просвечивающие электронные микроскопы.

Просвечивающие электронные микроскопы (ПЭМ) являются универсальными приборами многоцелевого назначения. Просвечи­вающие электронные микроскопы используют волновые свойства движущихся электронов. Схема просвечивающего микроскопа при­ведена на рис. 1.33.

Рис. 1.33. Схема просвечивающего электронного микроскопа.

Электронный пучок формируется электронной пушкой и конденсорными линзами с апертурой и фокусируется на исследуемом образце. Образец устанавливается на нанопозиционере, имеющем три сте­пени свободы. С помощью электромагнитной линзы объектива и линзы проектора электронное изображение фокусируется на люминесцент­ный экран. Электроны возбуждают экран и формируют увеличенное изображение исследуемого объекта, которое может регистрироваться телевизионной камерой и камерой на приборах с зарядовой связью.

При ускоряющем напряжении до 600 кВ можно получить разре­шение порядка ангстрема.

Просвечивающие электронные микроскопы используют для на­блюдения изображения объектов в светлом и темном полях, а также изучения структуры объектов методом электронографии. В ПЭМ ис­пользуются электроны энергией от 1 кэВ до 5 МэВ, позволяющие про­светить электронным пучком объекты толщиной до десятка наномет­ров. Поверхностная геометрическая структура в ПЭМ исследуется с помощью реплик. Этот метод вызывает определенные неудобства.

Разработаны конструкции сканирующего просвечивающего мик­роскопа, в котором исследуемый образец сканируется тонким элек­тронным лучом.

Исследования атомного строения вещества удобно проводить с помощью электронографов, которые реализованы по электронно­оптической схеме ПЭМ. Узкий электронный пучок в электронографе направляется на исследуемую наноструктуру. На люминес­центном экране создается дифракционное изображение — электронограмма. На основе измерения рефлексов от структуры исследуемого объекта проводятся вычисления и формируется пред­ставление об объекте.

Дата добавления: 2015-10-28