Ближнепольная сканирующая оптическая микроскопия.

Марголин 379с.

Еще совсем недавно считалось, что предел возможностям оп­тики ставит фундаментальный рэлеевский критерий разрешения оптических приборов. Он заключается в том, что минимальный размер различимого объекта немного меньше длины волны ис­пользуемого света и принципиально ограничен дифракцией из­лучения. Однако в последнее время появилась и вызывает все боль­ший интерес возможность изучения и формирования оптическими методами различных структур нанометровых размеров, которые во много раз меньше длины световой волны λ. Такая возможность возникла в связи с развитием ближнепольной оптики (БПО) — нового и чрезвычайно перспективного направления физической и прикладной оптики.

С физической точки зрения она основана на присутствии в даль­ней зоне излучения вполне идентифицируемых следов взаимодей­ствия света с микрообъектом, находящимся в ближнем световом поле, которое локализовано на расстояниях, много меньших λ. В тех­ническом смысле БПО в себе сочетает элементы обычной оптики и сканирующей зондовой микроскопии. Отличительным элемен­том ближнепольных приборов является оптический зонд (рис. 7.26), обычно представляющий собой заостренное оптическое волокно 1, наружная поверхность которого, за исключением вершины кону­са, покрыта непрозрачным слоем металла 3 (d <<λ, h< λ). Окруж­ность, показанная штриховой линией, ограничивает область ближнепольного контакта.

Часть светового потока, распространяющегося по волокну, проходит через выходное сечение зонда, как сквозь диафрагму в металлическом экране, и достигает образца, расположенного в ближнем поле источника. Если расстояние z до поверхности об­разца и радиус r _д диафрагмы удовлетворяют условию r _д∙ z << λ, то размер светового пятна на образце близок к размеру диафрагмы. При перемещении зонда вдоль образца возможна реализация раз­решения, не ограниченного дифракцией, или сверхразрешения.

Подобная идея была предложена еще в 1928 г. Е. Сингхом, она намного опередила технические возможности своего времени, но осталась практически не замеченной. Ее первое подтверждение было получено Е.Эшем в опытах с микроволнами в 1972 г. В начале 1980-х гг. группа исследователей из Цюрихской лаборатории фир­мы IBM во главе с Дитером Полем проникла внутрь дифракцитонного

предела и продемонстрировала разрешение λ/20 на приборе, работающем в видимом оптическом диапазоне и получившем на­звание ближнепольного сканирующего оптического микроскопа (БСОМ). Чуть раньше в этой же лаборатории был создан первый сканирующий туннельный микроскоп, принесший ей всемирную известность.

Рис. 7.26. Схема работы оптического микроскопа в ближнем поле:

1 — оптическое волокно; 2 — проходя­щее через зонд излучение; 3 — слой ме­талла; 4 — выходная апертура зонда; h — расстояние между исследуемой поверх­ностью и апертурой зонда; d — выходной диаметр оптического волокна.

В отличие от туннельного и атомно-силового микроскопов, сразу завоевавших признание, БСОМ некоторое время оставался в тени. Уникальные возможности БСОМ были убедительно продемонст­рированы лишь в начале 1990-х гг., когда удалось решить две важ­ные технические проблемы: существенно повысить энергетиче­скую эффективность зондов и обеспечить надежный контроль рас­стояния между острием и образцом. В последние годы в десятках лабораторий успешно ведутся работы по использованию БСОМ при решении широкого круга задач физики поверхности, биоло­гии, техники записи и считывания информации и др. С 1993 г. в США ведется промышленный выпуск приборов БПО.

К настоящему времени создано около 20 типов БСОМ, разли­чающихся особенностями оптической схемы и функциональным назначением зонда. В зависимости от наличия или отсутствия ди­афрагмы на конце зонда их можно подразделить на две основные группы: апертурные и безапертурные. Принцип действия апертур­ных БСОМ, составляющих преобладающее большинство современ­ных приборов, заключается в том, что луч лазера (обычно гелий- неонового или аргонового) через согласующий элемент попадает в заостренное металлизированное волокно и на выходе сужается до размеров диафрагмы. Взаимное перемещение острия и образца в трех измерениях (х, у, z) осуществляется с помощью пьезодвижите­лей. Прошедшие через образец или отраженные и рассеянные фо­тоны улавливаются одним из микрообъективов и направляются в регистрирующий прибор, обычно фотоумножитель. Такой микро­объектив, как правило, входит в схему обыкновенного оптического микроскопа, что позволяет осуществить выбор исследуемого учас­тка и его привязку к более широкому полю. Широко распростране­ны приборы, работающие в режиме сбора фотонов, когда зонд переносит фотоны от образца, освещенного, например, через мик­рообъектив, к детектору. В комбинированном режиме (освещение/ сбор) зонд выполняет одновременно обе функции.

Чтобы установить острие на нужной высоте над образцом, во всех сканирующих зондовых микроскопах используют зависимость величины / регистрируемого сигнала от z. В большинстве типов БСОМ зависимость I(z) неоднозначна, поскольку наряду с ближнепольным сигналом I₁ регистрируется также периодически из­меняющийся с z сигнал I₂, вызванный интерференцией падаю­щей и переотраженных волн в системе зонд —образец. Это зат­рудняет или делает полностью невозможным надежный конт­роль z по величине I= I₁+ I₂ при сближении острия с образцом. Лучшим решением проблемы является введение в БСОМ вспо­могательных узлов, позволяющих им осуществлять также функ­ции сканирующего туннельного или атомно-силового микроско­пов, в которых определение z не вызывает существенных труд­ностей.

В таких комбинированных приборах запись изображения осу­ществляется одновременно по двум каналам, один из которых воспроизводит рельеф поверхности, а другой — локальное рас­пределение показателя преломления в тончайшем приповерхност­ном слое. Возможность различения оптического и топографиче­ского контрастов существенно упрощает интерпретацию изобра­жения. Наибольшее распространение получил метод контроля z, основанный на изменении тангенциальной составляющей силы физического взаимодействия острия с образцом.

Основной характеристикой БСОМ является пространственное разрешение, которое в большой степени зависит от условий осве­щения или, в более общем случае, от наблюдения образца, струк­туры его поверхности и микрогеометрии зонда. Известно, что функция импульсного отклика дифракционно ограниченной оп­тической системы описывается распределением Эри. Полушири­на главного максимума распределения соответствует разрешению по Рэлею:

где φ — апертурный угол.

Дата добавления: 2015-10-28