II. Порядок выполнения работы.

1. Изучить основные системы и устройства вакуумной установки напыления ВУ-1А. Ознакомиться с устройством её рабочего объёма. Составить эскиз относительного расположения испарителя, заслонки, подложек.

2. Ознакомиться с составом шкафа управления и назначением его отдельных устройств.

3. На установке произвести напыление металлических плёнок на подложки, расположенные на разном расстоянии от центра вращения карусели.

4. Произвести измерение толщины плёнок на подложках интерференционным способом с помощью микроинтерферометра МИИ-4 или частотным способом на генераторе " Дельта ". Результаты измерения занести в таблицу.

5. По результатам эксперимента построить график изменения плёнок по толщине в зависимости от соотношения и . Сравнить с теоретическими данными, полученными из уравнения (3) на ПЭВМ.

Неравномерность плёнок по толщине в зависимости от расположения испарителя и подложек.

№№	Режимы напыления	Измеряемые параметры
образ-	Va	Р0	Т	t	t	r/L	e/L	t/t0
цов.	нм/мин	Па	К	мин	мкм			эксп.	теор.

III. СОДЕРЖАНИЕ ОТЧЁТА.

1. Основные положения процесса нанесения плёнок способом термического испарения и конденсации материала в вакууме.

2. Схема вакуумной системы установки ВУ-1А.

3. Эскиз взаимного расположения основных элементов подколпачного устройства в позиции напыления (испарителя, заслонки, подложки).

4. Таблица с результатами замеров и расчётов распределения плёнки по толщине по поверхности подложки.

5. График изменения плёнок по толщине в зависимости от соотношения и

IV. КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ.

1. Сущность способа термического испарения и конденсации материала в вакууме.

2. Основные системы и устройства вакуумной установки для напыления тонких плёнок.

3. Принцип действия механического и диффузионного насосов. Диапазон получаемых рабочих давлений.

4. Основные устройства системы контроля и управления процессом вакуумного напыления и их назначение.

5. Какие режимы характеризуют процесс вакуумного напыления?

6. Каковы требования к материалам резистивных испарителей?

7. Какие факторы влияют на свойства напыляемой плёнки?

8. Чем объяснить неравномерность нанесённых плёнок по толщине по поверхности подложки?

СПИСОК РЕКОМЕНДУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ.

1. Технология тонких плёнок. Справочник. Под редакцией Майселла Л., Глэнга Р. М.: Советское радио, 1977,Т-I - 664 с.

2. Данилин Б.С. Получение тонкоплёночных элементов микросхем. М.: Энергия, 1977, 136 с.

3. Справочник технолога – оптика / М.А. Окатов, Э.А. Антонов, А. Байгожин и др., Под ред. М.А. Окатова. – СПб. Политехника, 2004г., 679с.

4. Чурсин А.И. Контроль степени понижения частоты при напылении электродов кварцевых резонаторов. / Электронная техника. Сер. Радиодетали и радиокомпоненты. -1974.-вып. 2, с.100-103.

ОГЛАВЛЕНИЕ.

Подготовка и резка кристаллов и буль на пластины.............................................3

Изучение особенностей процесса обработки и контроля кристаллических

пластин....................................................................................................................18

Получение тонкопленочных оптико-электронных элементов...........................34

Учебно-методическое пособие.

Автор: Дюжиков В.И.

Технология оптико-электронных приборов, технология элементов опто-электроники: лабораторный практикум.

Дата добавления: 2015-11-14