I.3.2. Закрепление секций и буль

Кристаллическую секцию или булю перед резкой наклеивают базовой плоскостью на стеклянную или керамическую подложку, которую, в свою очередь, наклеивают на съёмную металлическую оправку. Монокристаллические полупроводниковые слитки при резке на пластины крепят, используя клеящую смесь, которая содержит 36% эпоксидной смолы, 53% карбоната кальция, 2% кремнезема и 9% олифатических аминов. Для наклейки кристаллов и секций кварца, танталата и ниобата лития применяют шеллак, а также наклеечные мастики на основе воска и канифоли. Для этого склеиваемые материалы нагревают до температуры плавления мастики, смазывают ею склеиваемые плоскости и охлаждают после прижима секции или були к оправке с подложкой. Ориентированная наклейка секций кварца (рис.5) на стеклянные подложки металлической оправки относительно её базовых поверхностей обеспечивает более точное расположение плоскостей реза относительно инструмента при установке в фиксированном положении на рабочем столе станка. Перед наклейкой металлическая оправка 1 с закрепленной подложкой 2 устанавливается в горизонтальной плоскости рентгенгониометра 3 под постоянным для выбранной атомной плоскости углом к падающему рентгеновскому лучу 4. На подложке 2, покрытой тонким слоем клея “Квант-401”, располагается кристаллическая секция 5, которая ориентируется в базовой плоскости по максимуму отражения 6 от выбранной атомной плоскости при резке заданного среза 7. При включении ртутной лампы 8, расположенной над соответствующей секцией 5, слой клея под действием ультрафиолетового облучения отверждается в течение 20...25 с и секция склеивается с подложкой. Затем металлическую оправку с наклеенной секцией или с булей закрепляют в держателе станка для резки. Продольный ход стола для полного отрезания пластин выбирают таким образом, чтобы перебег слитка (були) относительно кромки режущего диска в начале и в конце рабочего хода составлял 2-3 мм.

Рис.4

Способы натяжения АКВР

1-фиксирующее кольцо; 2-режущая кромка; 3-зажим; 4-кольца.

Рис.5

Схема ориентированной наклейки.

Дата добавления: 2015-11-14