|
Читайте также: |
Качество плёнок, получаемых путём термического испарения в вакууме, существенно зависит от типа и конструкции испарителей, которые определяются свойствами испаряемого вещества и его исходной формой (гранулы, порошок, проволока), требуемой скоростью испарения, её постоянством во времени.
К материалам испарителей предъявляются следующие требования:
1.Между материалом испарителя и испаряемым веществом не должно происходить химических реакций.
2.Давление пара материала испарителя при температуре испарения напыляемого вещества должно быть пренебрежимо малым.
3.Материал испарителя должен обладать хорошей смачиваемостью поверхности испаряемым веществом.
Испарители, действующие по принципу сопротивления, можно разделить на две группы:
1. Поверхностные -- нити накала, ленты, лодочки (рис. 2).
2. Тигельные (рис. 3).
Как правило, эти испарители с косвенным резистивным нагревом для испарения металлов и диэлектриков.
Поверхностные испарители обычно выполняют из тугоплавких металлов Ta, W, Mo, Nb. Тигельные испарители изготавливают из кварца, окиси алюминия, окиси бериллия, окиси тория и графита.
При выборе вещества для напыления следует руководствоваться следующими требованиями:
1. Вещество должно быть классифицировано не хуже ч.д.а. (чистое для анализа) или о.с.ч. (особо чистое).
2. Испаряемое вещество должно быть соответствующим образом обработано, высушено, обезгажено, гранулировано и доставлено в вакуумную лабораторию в специальной герметичной таре.
3. Напыляемое вещество должно быть близким по физическим и химическим свойствам к материалу подложки.
Размер испарителей выбирается в зависимости от количества и толщины слоёв данного вещества, наносимых за один вакуумный цикл.
3. Факторы, влияющие на свойства тонких плёнок.
Свойства нанесённых в вакууме тонких плёнок какого-либо вещества зависят от большого числа трудноконтролируемых параметров:
1. Структуры подложки и состояния её поверхности.
2. Степени разрежения и состава остаточной среды.
3. Скорости осаждения.
4. Температуры подложки.
а б
в г
Рис.2
Дата добавления: 2015-11-14; просмотров: 102 | Нарушение авторских прав
| <== предыдущая страница | | | следующая страница ==> |
| Погрешности формы пластин | | | Термические (поверхностные) испарители из проволоки и металлической фольги |