Читайте также:
|
Тип насоса 1 выбирают по предельному давлению [1,табл. 9.7] и составу остаточных газов [1,рис. 9.16] современных низковакуумных насосов.
Клапан 9позволяет выровнять давления на входном и выходном патрубках насосов с рабочей жидкостью во время их остановки.
Предохранительная камера 2используется для механических насосов и представляет собой ловушку для паров рабочей жидкости насоса или балластный объем, предотвращающий аварийное проникновение в вакуумную камеру рабочей жидкости насосов
Клапан 3 отключает вакуумную камеру от наоса после достижения в ней рабочего давления и позволяет дросселировать процесс откачки, предотвращая перегрев механических насосов во время работы при высоких давлениях.
Вакуумная камера 7 может иметь необходимое количество электрических вводов10. Клапан 5 предназначен для напуска воздуха в вакуумную камеру. В процессе наладки установки к клапану 5может подключаться течеискатель.
Вакуумная система для получения низкого и высокого вакуума содержит дополнительный высоковакуумный насос 4.
Клапан 8коммутирует насос с вакуумной камерой
Рис 1. Вакуумная система для получения низкого и высокого вакуума
1-насос для получения низкого вакуума; 2-заливная ловушка; 3,5,8,9-клапаны; 4-магниторазрядный насос; 7-откачиваемый объем; 10,11,12,13,14-электрические токовводы.
Дата добавления: 2015-08-20; просмотров: 155 | Нарушение авторских прав
| <== предыдущая страница | | | следующая страница ==> |
| Введение. | | | Расчет стационарного газового потока. |