|
Читайте также: |
получение слоев, легированными примесями
- методом диффузии
донорных и акцепторных примесей в потоке газа-носителя
(способ открытой трубы)
в кварцевую трубу направляются три потока газа:
- основной поток азота (аргона)
- слабый поток азота (аргона), прошедший через жидкий источник
- слабый поток кислорода
кислород взаимодействует с
бромистым бором с образованием окисла бора и выделением брома
кремнием с образованием окисла кремния
окисел кремния с окислом бора образует боросиликатное стекло
кремний взаимодействует с окислом бора и образует окисел
кремния и элементарный бор
(аналогично происходит с фосфором)
- методом ионного внедрения
на поверхность подложки определенной ориентации подается
пучок ускоренных ионов примеси
с энергией, достаточной для проникновения в полупроводник
- комбинированным методом
- нанесение тонких металлических пленок на пластину
получение омических контактов к слоям структуры микросхемы и
электрической разводки
Дата добавления: 2015-07-11; просмотров: 68 | Нарушение авторских прав