Читайте также:
|
По конструкции тензорезисторы делятся на:
1. проволочные
2. фольговые
3. плёночные
1.
R =20¸500 Ом
Обозначения:
П – проволочный З – база = 3мм
К – константан 50 – сопротивление тензорезистора (R0)
Б – бумага
2.
L=0,6÷10 мм
2 Ф К П А
 |  |  |  |  | |||||
особые условия
прямоугольная решётка
константан
фольговой
коэффициент тензочувствительности (Кт=2)
Недостаток – малое сопротивление.
3. Изготавливаются путём вакуумной возгонки с последующим осаждением его на подложку. Для изготовления плёночных тензорезисторов применяются как металлические, так и п/п материалы. П/п тензорезисторы представляют собой тонкие полоски из кремния р - типа, вырезанные в направлении кристаллографической оси.
Обозначения п/п терморезисторов:
Ю-8, Ю-10
КТ=20 ÷ 200
R0=50 Ом ÷10 кОм
Однако п/п терморезисторы имеют большие температурные погрешности, что является существенным недостатком. Кроме того, промышленность выпускает так же и интегральные тензомодули, выращивая тензорезисторы непосредственно на упругом элементе, выполненном из кремния или сапфира. При этом на одном упругом элементе выращивается не один тензорезистор, а структура в виде полумоста или моста, а так же термокомпенсирующий элемент.
КНК – кремний на кремний
КНС – кремний на сапфире
Дата добавления: 2015-10-02; просмотров: 79 | Нарушение авторских прав
| <== предыдущая страница | | | следующая страница ==> |
| Тензорезисторы. | | | Измерительные цепи тензорезисторов. |