Определение суммарного газовыделения.

Содержание

1. Определение суммарного газовыделения - - - - 3

2. Выбор вакуумных насосов или вакуумных агрегатов - - 4

3. Составление схемы вакуумной установки - - - - 6

4. Выбор конструктивных размеров соединительных

вакуумпроводов и арматуры - - - - - - - 7

5. Расчёт основных периодов процесса откачки - - - - 9

Определение суммарного газовыделения.

Расчётный газовый поток определяется на момент достижения заданного рабочего вакуума.

Для данного вакуумного расчёта будем полагать, что газовый поток имеет три составляющих.

Q = Q_конст. + Q_{технол.} + Q_нат.

Q_конст. – это газовый поток, обусловленный поверхностной десорбцией из конструкционных материалов, применяемых для изготовления рабочей камеры;

Q_{технол.} – технологическое газовыделение, обусловленное высокотемпературной диффузией газов, растворённых в толще изделий.

Q_нат. – это поток газа, обусловленный натеканием атмосферного воздуха через сквозные микродефекты в сварных и паяных соединениях, а также через неплотности в разборных соединениях.

Q_конст. = q_дес ∙ А_пов,

где q_дес – удельный поток газа, десорбирующийся с единичной поверхности материала при комнатной температуре,

А_пов – площадь поверхностей стенок камеры и устройств, “обращённых” в вакуумную полость.

lg q_дес = A – B ∙ t

А, B – эмпирические константы,

t – время десорбции, с.

q_дес = 10^{(A – B ∙ t)} = = 10^-7,41 = 3,91 ∙ 10^-8

А_пов = А_стен + 2 А_дна = 2πrh + 2πr² = 2 ∙ π ∙ 0,3025 ∙ 0,725 + 2 ∙ π ∙ (0,3025)² =

= 1,38 + 0,57 = 1,95 [м²]

Q_конст. = q_дес ∙ А_{пов =} 3,91 ∙ 10^-8 ∙ 1,95 = 7,65 ∙ 10^-8

Q_нат. в данном расчёте полагаем постоянным и равным величине

5 ∙ 10^-7

Q_{технол.} = q_диф ∙ А_изд

q_диф – удельный поток газа из материала при температуре, заданной технологическим процессом;

А_изд – площадь поверхности изделий.

q_диф = = = ≈ 11,46 ∙ 10^-5

А_изд = (2 ∙ А_дна1 + А_стен1 ) ∙ 30 = (2 ∙ 3,14 ∙ 0,0075 ∙ 0,2 + 2 ∙ 3,14 ∙

0,0075^2) ∙ 30 = (0,00942 + 0,00035) ∙ 30 = 0,293 [м²]

Q_{технол.} = q_диф ∙ А_изд = 11.46 ∙ 10^-5 ∙ 0,293 = 3,36 ∙ 10^-5

Q = Q_конст. + Q_{технол.} + Q_нат = 0,765 ∙ 10^-7 + 336 ∙ 10^-7 + 5 ∙ 10^-7=

= 3,42 ∙ 10^-5

Дата добавления: 2015-10-24