|
Под надежностью понимается способность алгоритма найти выход из любой ситуации, которая может возникнуть. И чем сложнее программа, чем шире круг задач, которые она решает, тем труднее обеспечить такую надежность. Строго говоря, АПКЛИ на реагировать не только на неординарную ситуацию, но и на совокупность возникших ситуаций. Причем, необходимо, чтобы программа не только распознавала некорректные ситуации, но и могла их грамотно классифицировать, идентифицировать и сообщать пользователю.
Надежная работа программы достигается за счет использования объектов. Хорошо спроектированный объект - это небольшая часть программы, слабо связанная с другими частями. Если этот объект правильно работает в автономном режиме, то он почти наверняка будет правильно работать и в составе большой программы.
Очень важным свойством для таких систем, как описанная в данном дипломе обучающая Интернет–подсистема для лабораторного исследования устойчивости разомкнутой и замкнутой САУ с помощью частотных критериев устойчивости, является их реализуемость. Ведь любой алгоритм оторван от среды, в которой он будет реализован. В этой ситуации необходимо хорошо представлять, что может быть реализовано на той ЭВМ и в той среде, в которой пишется алгоритм.
Алгоритм работы обучающей Интернет–подсистеме для лабораторного исследования устойчивости разомкнутой и замкнутой САУ с помощью частотных критериев устойчивости, рассматриваемый в дипломном проекте, удовлетворяет всем этим требованиям. Этот алгоритм приведен далее. Также далее приведен алгоритм проведения лабораторного исследования устойчивости разомкнутой и замкнутой САУ с помощью частотных критериев в Интернет - подсистеме.
Рис. 1.21. Алгоритм работы обучающей Интернет–подсистеме для лабораторного исследования устойчивости разомкнутой и замкнутой САУ с помощью частотных критериев устойчивости
Рис. 1.22. Алгоритм проведения лабораторного исследования в обучающей Интернет–подсистеме для лабораторного исследования устойчивости разомкнутой и замкнутой САУ с помощью частотных критериев устойчивости
1.9. Разработка программного обеспечения Интернет – подсистемы для лабораторного исследования устойчивости разомкнутой и замкнутой САУ
Программная реализация обучающей Интернет–подсистемы для лабораторного исследования устойчивости разомкнутой и замкнутой САУ на основе частотных критериев устойчивости проводилась на персональном компьютере семейства x86 под управлением операционной системы с установленной операционной системой Windows ХР и с установленным интернет-сервером Apache версии 2.2.4 for Windows. Среда реализации - язык программирования PHP, объектно-ориентированный язык программмирования JavaScript и гипертекстовый язык разметки HTML.
Скрипты, написанные на языке PHP, включаются непосредственно в тело html-документа, но выполнение программы происходит на стороне сервера, который создает html-страницы и передает их сторону клиента.
Собственно структура сайта, в страницы которого внедрены описанные выше скрипты, представляет собой дерево каталогов.
В корневом каталоге находятся следующие файлы:
index.php
| Главный файл подсистемы. Он запускается при входе на сайт. |
sau_output.php sau _config.php sau _about.php styles.css | Файлы содержащие вспомогательные функции и конфигурацию подсистемы. |
sau_lec.php | Файл отвечающий за вывод на экран курса лекций. |
sau_literature.php | Вывод списка литературы |
sau_metod.php | Файл отвечающий за вывод на экран методических указаний. |
sau_dopusk.php | Файлы отвечающие за вывод и обработку форм в режиме допуска к лабораторной работе. |
sau_laba.exe | Скачиваемый файл с лабораторным исследованием. |
В подкаталоге img расположены графические файлы:
yes.gif no.gif
| Графика для обозначения правильных и неправильных ответов, схемы. |
В подкаталоге data расположены файлы с данными для допуска к лабораторной работе:
saucont.txt | Файл с данными для режима допуска к лабораторной работе. |
В подкаталоге lec расположены файлы с данными для вывода экран курса лекций:
lec_main.htm | Файлы c оглавлением курса лекций. |
lec_*_*.htm
| 30 файлов с содержанием разделов и подразделов курса лекций. |
Img_*_*.png | 240 файлов с иллюстрациями к курсу лекций |
1.10. Руководство разработчика Интернет – подсистемы для лабораторного исследования устойчивости разомкнутой и замкнутой САУ
Понятие World Wide Web (WWW) относится к абстрактному информационному киберпространству. Под словом Internet обычно подразумевают физический уровень сети, т.е. аппаратное обеспечение, состоящее из компьютеров и кабелей. Основой WWW и Internet является использование протоколов, т.е. языка и правил, посредством которых компьютеры «общаются» между собой. Поскольку WWW использует стандартные протоколы Internet для передачи файлов и документов, термин Web часто используется как синоним понятия Internet и относится как к всемирной сети компьютеров. Так и собственно к информации.
Web-публикации работают по технологии клиент-сервер. Web-сервер – это программа, запущенная на компьютере, предназначенном для предоставления документов другим машинам, которые посылают соответствующие запросы. Web-клиент – это программ, которая позволяет пользователю запрашивать документы с сервера. Поскольку сервер задействуется только тогда. Когда запрашивается документ, такая технология является весьма эффективной, поскольку требует незначительных ресурсов сервера.
Запуская программу «web-клиент» (обычно она называется web-браузером), пользователь может устанавливать соединение с другими компьютерами сети и посылать работающим на них web-серверам запросы на web-документы. Для установления соединения используется сетевой адрес компьютера, который называется универсальным указателем ресурса – URL (Uniform Resource Locator). Сервер в ответ на запрос посылает клиентскому компьютеру текст или другую запрашиваемую информацию, на которую в документе установлены гиперссылки. Сервер передает документы в формате HTML (HyperText Markup Language – язык разметки гипертекста). Документы на языке HTML, так же называемые web-документами, позволяют пользователю, указав на выделенное слово или фразу, получить доступ к файлу или перейти в другой HTML-документ, который связан с указанным участком текста гиперссылкой. Такие гипертекстовые связи между файлами и документами, физически расположенными на серверах по всему миру, позволяют системе работать так, будто она представляет собой огромную паутину информации.
Возможности форматирования текста, предусмотренные в HTML, существенно ограничены. Этот язык включает в себя элементы разметки заголовков, абзацев, различные виды выделения символов, возможности включения графики, создания гиперссылок, списков, текста заданного формата, а так же простые функции поиска. Существует множество программ, предназначенных для создания HTML-документов или преобразования уже готовых документов в HTML-формат. Существуют также средства для создания изображений-карт с «горячими точками». Щелкнув на такой точке мышью, пользователь может перейти к заданной позиции текущего или другого документа. Для разработки данного дипломного проекта используется программа HTML-верстки MacroMedia Dreamweaver.
Из-за нехватки возможностей обычного HTML в дипломном проекте используется еще и DHTML (Dyinamic HTML). DHTML – это развитие «традиционного» языка HTML. Новые возможности, которые появляются с его использованием:
- все элементы страницы (теги, графика, текст и т.д.) теперь доступны для просмотра и управления
- новый взгляд на возможности таблиц стилей позволяет управлять элементами страницы намного более эффективно, чем это можно сделать с помощью простого кода.
- Абсолютное позиционирование элементов, включая третью координату (z-индекс), что позволяет создать индивидуальный стиль для страницы, и появление 2.5 мерности (виртуальной трехмерности) страницы.
- Новые дополнения к объектной модели помогают по-новому использовать элементы, написанные с помощью кода сценария.
- Динамическое перерисовывание любой части страницы позволяет сделать видимым процесс изменения. Больше не нужно полностью обновлять страницу для появления ее измененного вида.
- Поддерживаются новые объектно-зависимые методы, включая прохождение событий сквозь объектную иерархию.
- Графические фильтры позволяют пользователю добавлять в графику и текст такие эффекты мультимедиа, как вертикальное или горизонтальное отражение картинки, создание бегущей строки, движение пятен по картинке и т.п.
Кроме всего этого имеется возможность добавления в код страницы кода сценария, позволяющего обновлять позиции и стили элементов на странице. Язык сценария – это способ «научить» страницы реагировать на события, давая им возможность «общаться» с пользователем, чего не могут страницы, написанные лишь с помощью кода HTML. Сценарии могут быть написаны на разных языках программирования, но в данном дипломном проекте используется язык JavaScript.
Разметка HTML-документа.
Элемент разметки обычно состоит из пары кодов – открывающего и завершающего, которые называются тегами (tag). Завершающий тег начинается с символа «/», а в остальном повторяет открывающий.
Вся страница состоит из двух частей: «головы» (head) и «тела» (body), что обозначается соответствующими тегами:
<html> - тег начала документа
<head> - тег начала «головы»
<title> </title> - теги заголовка документа
</head> - тег конца «головы»
<body> - тег начала «тела»
дальше идет html-разметка в соответствии с необходимым содержанием документа при использовании различных тегов.
</body> - тег конца «тела»
</html> - тег конца документа
Практически у каждого тега существует набор атрибутов, которые можно использовать вместе с ним.
Использование PHP скриптов
Для разработки дипломного проекта использовался язык веб-программирования PHP. Cерверных сценарии на РНР, встраиваются непосредственно в текст документа HTML с помощью специальных тегов. Получив от браузера запрос на отображение страницы, Web – сервер находит на ней серверные сценарии РНР и выполняет их как интерпретируемый программный код.
Перед отправкой страницы HTML клиенту этот код может вставлять в нее произвольные символы или фрагменты или полностью формировать динамические страницы «с нуля» (в том числе с применением шаблонов), а также выполнять переадресацию браузера клиента на другой адрес URL.
1.11. Руководство пользователя Интернет – подсистемы для лабораторного исследования устойчивости разомкнутой и замкнутой САУ
1.11.1. Начало работы
1. Подключиться к интернет.
2. Посредством браузера зайти на тот сайт, на котором располагается подсистема.
Начинать работу с первой страницы подсистемы index.php
При загрузке в браузер обучающая Интернет–подсистема для лабораторного устойчивости разомкнутой и замкнутой САУ на основе частотных критериев устойчивости, представленный на рисунке 1.23. Экран разделен на две прямоугольные области:
1. область меню
2. область отображения информации;
Рис. 1.23. Общий вид обучающей Интернет–подсистемы для лабораторного исследования устойчивости разомкнутой и замкнутой САУ
1.11.2. Работа в режиме обучения
Режим обучения состоит из двух разделов: «Лекции» и «Методика проведения лабораторной работы».
При выборе одного из пунктов меню разделе «Методика проведения лабораторной работы».студенту предлагается страница с учебной статьей из иллюстрированного учебника по частотным и логарифмическим частотным характеристикам разомкнутых и замкнутых САУ и частотным критериям их устойчивости. Учебник разделен на главы. После изучения теоретического материала одной главы можно последовательно перейти к следующей или вернуться в оглавление. Вид страницы методики проведения лабораторной работы по исследованию устойчивости разомкнутых и замкнутых САУ с помощью частотных критериев устойчивости представлен на рис. 1.24.
Рис. 1.24. Вид страницы методических указаний в режиме обучения Интернет–подсистемы для лабораторного исследования устойчивости разомкнутой и замкнутой САУ
Если студенту недостаточно этих сведений для подготовки к выполнению лабораторной работы или для ее защиты, он может получить дополнительную информацию, обратившись к иллюстрированному изложению лекционного курса «Основы теории управления», который представлен в Интернет – подсистеме по характеристикам типовых динамических звеньев САУ, нажав в меню на кнопку «Лекции». Вид страницы из лекционного курса представлен на рисунке 1.25.
Рис. 1.25. Вид страницы лекционного курса «Основы теории управления» в режиме обучения Интернет–подсистемы для лабораторного исследования устойчивости САУ
1.11.3. Работа в режиме допуска к лабораторному исследованию
Этот режим содержит два варианта тестирования.
Полный допуск
Этот режим рекомендуется для проведения самоподготовки студента к выполнению лабораторной работы. При тестировании в режиме “Допуск к лабораторному исследованию” студенту предлагается ответить на 22 вопрос по теме «Частотные и логарифмические частотные характеристики разомкнутых и замкнутых САУ и оценка их устойчивости на основе частотных методов». В зависимости от настроек вопросы могут задаваться все вопросы сразу или по одному вопросу. Выбор количества вопросов осуществляется в меню «Настройки системы».
После выбора режима появляется, представленное на Рис.1.26, окно с вопросом и вариантами ответа. Выбрать необходимый ответ можно, щелкнув курсором мыши на нужный вариант ответа. Программа анализирует ответ и сообщает, верен он или нет. Нажав курсором мыши на кнопку «Следующий вопрос», студент может продолжить тестирование.
Рис. 1.26. Страница с вопросом режима «Допуск» в Интернет–подсистеме для лабораторного исследования для лабораторного исследования устойчивости САУ
По окончании тестирования проводится подсчет правильных и неправильных ответов, и выставляется оценка.
Оценка считается по принципу:
" 5 " - более 90% правильных ответов;
" 4 " - от 75% до 90% правильных ответов;
" 3 " - от 60% до 75% правильных ответов;
" 2 " - менее 60% правильных ответов.
После окончания тестирования появится страница с результатами тестирования (рис.1.27).
Рис. 1.27. Страница с результатами тестирования в режиме «Допуск» в Интернет–подсистеме для лабораторного исследования устойчивости САУ
Экспресс-допуск
Режим “Экспресс-допуск” рекомендуется для допуска защиты лабораторных работ, он аналогичен режиму “Полного допуска”. Предполагается, что основные теоретические сведения студенту уже известны и оформлен конспект для выполнения лабораторной работы. В данном режиме допуска студенты в случайном порядке задается до 5 вопросов. Количество задаваемых вопросов определяется в меню «Настройки системы». После успешного прохождения допуска студенту предоставляется возможность входа в режим «Лабораторное исследование»
1.11.4. Работа в режиме лабораторного исследования
Студент выбирает пункт меню Интернет подсистемы «Лабораторная работа» и в соответствии с номером варианта, заданным преподавателем, вводит рассчитанные им заранее коэффициенты передаточных функций. Для этого ему необходимо из таблицы варианта выбрать значения , которые являются значениями коэффициентов усиления передаточных функций реальных устройств, и , которые являются значениями постоянных времен этих реальных устройств. Вид Интернет – страницы для ввода коэффициентов передаточных функций представлен на рис. 1.28.
Рис.1.28. Вид окна «Лабораторная работа» в Интернет – подсистеме для лабораторного исследования устойчивости разомкнутых и замкнутых
Интернет – подсистема проводит моделирование частотных и логарифмических частотных характеристик разомкнутой и замкнутой САУ. Их вид представлен на рис. 1.29.
Рис.1.29. Вид окна характеристик Интернет – подсистеме для лабораторного исследования устойчивости разомкнутых и замкнутых
После этого Интернет – подсистема проводит расчет частотных показателей (оценок) качества. В лабораторной работе рассматриваются следующие основные частотные оценки качества САУ: запас устойчивости по амплитуде (или по модулю) (в линейном масштабе) и (в логарифмическом масштабе); запас устойчивости по фазе ; показатель колебательности ; резонансная частота ; частота среза .
Заключительным этапом является оценка устойчивости САУ с помощью частотных критериев устойчивости при задании параметров передаточной функции разомкнутой системы W(р) и замкнутой системы Ф(р).
2.КОНСТРУКТИВНО – ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ
2.1. Технический процесс изготовления приборов (ИМС) по КМДП технологии
Процесс изготовления ИМС состоит из определённого числа технологических операций и переходов, в результате которых из исходных материалов на пластине заданных размеров получаются готовые электронные функциональные устройства – микросхемы.
Специфической особенностью изготовления ИМС является интегрально – групповой метод производства. Суть его заключается в интеграции большого количества различных и однотипных элементов на едином технологическом носителе – пластине и в интеграции технологических процессов (операций) при групповых методах их проведения. Это означает, что за один технологический цикл одновременно создаётся не один, а множество ИМС.
Последовательность технологических операций при формировании структуры КМДП по самосовмещённой технологии приведена в таблице 2.1. Самосовмещённая технология – это такая технология, когда длина каналов обоих типов электропроводности уменьшается за счёт использования технологии подлегирования через специально сформированную маску из поликристаллического кремния, который выполняет роль затвора.
Таблица 2.1 Перечень, последовательность и номинальные параметры слоёв микросхем.
№ п.п. | Наименование слоя | Номер фотошаблона | Номинальные параметры | Примечание |
Исходный кристалл | – | КЭФ=4,5 (100) КЭФ=20 (100) |
| |
Первичный термический окисел | – | d=0,40÷0,50 мкм |
| |
Карман р -типа | Na=1·10 см¯³ d=5÷8 мкм | Выполняют фотолитографию «кармана» и двухстадийную диффузию «кармана» на необходимую глубину. | ||
Диффузионные р -слои (исток, сток, охранная область) | rs=10÷25 Ом/ d=0,40÷0,50 мкм | Выполняют фотолитографию и диффузию.
| ||
Диффузионные n -слои (исток, сток, охранная область) | gs=10÷25 Ом/ d=1,4÷1,6 мкм |
| ||
Тонкий оксид | d=0,09 ±0,01 мкм | Проводят фотолитографию. Выращивают тонкий слой окисла.
| ||
Поликристаллический кремний | d=0,3÷0,6 мкм | Наращивают специальную маску из поликристаллического кремния Si*.
| ||
Подлегирование областей истока – стока р -канального транзистора | Na=1·10 см¯³ d=0,4 мкм |
| ||
Подлегирование областей истока – стока n -канального транзистора
| Nд ≈1·10 см¯³ d =0,4 мкм | |||
| Межслойный диэлектрик |
– | d≈0,5 мкм |
|
Контактные окна | 4×4 мкм | Проводят фотолитографию – вскрытие окон под контакты.
| ||
Металлизация алюминием | d=1,2÷0,2 мкм | Создание внутрисхемных соединений путём металлизации алюминием.
| ||
Диэлектрический защитный слой | d=0,5 ±0,2 мкм | Пассивация – нанесение защитного покрытия, в котором фотолитографией вскрывают окна под периферийные контактные площадки.
|
2.2. Технологический процесс операции фотолитографии.
Основные этапы фотолитографии приведены на рисунке 2.2.
Рис.2.2. Схема процесса фотолитографии
Как следует из схемы, перенос рисунка фотошаблона в поверхностный слой пластины происходит в три стадии:
· Экспонирование фотослоя через фотошаблон и образование скрытого изображения;
· Проявление и задубливание рисунка, т.е. формирование защитной фотомаски;
· Травление поверхностного слоя пластины на незащищенных участках.
На каждой из стадий процесса действуют факторы, искажающие исходный рисунок фотошаблона. Так, при экспонировании имеют место явления дифракции, преломления и отражения света, приводящие к изменению размеров элементов рисунка и размытости их краев. На этапе проявления и задубливания искажения размеров обусловлены набуханием фотослоя и усадкой фактором является боковое подтравливание под маску. Условия, в которых происходит обработка на различных стадиях, изменяются как от пластины к пластине, так и в пределах одной групповой пластины, что приводит к разбросу размеров элементов рисунка. Если наименьшие по размерам элементы рисунка соизмеримы с этими погрешностями, то их нельзя воспроизвести на пластине достаточно четко. Таким образом, для воспроизводимости переноса элементов рисунка малых размеров с фотошаблона на пластину фотолитографический процесс в целом должен обладать соответствующей разрешающей способностью. Ее оценивают максимальным числом линий, раздельно воспроизводимых в пределах 1 мм: R=1000/(2amin), где amin – ширина линии (мкм). На практике разрешающую способность частот характеризуют просто значением amin.
Для объективного анализа и совершенствования фотолитографического процесса целесообразно разделять разрешающую способность по проявленному рельефу (фотомаске) и вытравленному рельефу. Разрешающая способность по проявленному рельефу зависит, прежде всего, от материала фотослоя (фоторезиста) и его свойств.
Таблица 2.3.Технологический процесс фотолитографии
№ оп. | Название и содержание операции | Эскиз операции | Оборудование, материалы |
ПОДГОТОВКА ПЛАСТИНЫ Очистка полупроводниковой пластины. Цикл обработки не более 5 мин.
|
4 – рабочая камера 5 – кремневые пластины 6 –теплоизолирующий слой | 1) Установка для обработки пластины в парах растворителя 2) Растворитель фреон-113 | |
2 | НАНЕСЕНИЕ ФОТОРЕЗИСТА Нанесение слоя фоторезиста с помощью метода центрифугирования или пульверизации. | Ценрифугирование
1 – дозатор фоторезиста 2 – пластина Пульверизация
2 – подвижный стол с пластинами 3 – подвижная форсунка | 1) Центрифуга, 2) Полуавтомат ПНФ-1Р (для пульверизации), 3) Раствор фоторезиста |
3 | СУШКА ФОТОРЕЗИСТА Удаление остатков раство-рителя и упорядочение структуры фоторезиста с помощью инфракрасной сушки (5-15 мин.) или СВЧ-сушки (неск. сек.) |
| ИК-сушка: Источник ИК-излучения СВЧ-сушка: печь мощностью 200-400 Вт, рабочая частота 2,45 ГГц |
Дата добавления: 2015-09-29; просмотров: 12 | Нарушение авторских прав
<== предыдущая лекция | | | следующая лекция ==> |