Студопедия
Случайная страница | ТОМ-1 | ТОМ-2 | ТОМ-3
АвтомобилиАстрономияБиологияГеографияДом и садДругие языкиДругоеИнформатика
ИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеталлургияМеханика
ОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРелигияРиторика
СоциологияСпортСтроительствоТехнологияТуризмФизикаФилософияФинансы
ХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника

Подготовка поверхности

Читайте также:
  1. III. Профессионально-должностная и командирская подготовка офицеров (прапорщиков).
  2. V Идеологическая подготовка покушения
  3. V – Подготовка к Герметическим Ритуалам
  4. Б.3 Подготовка к измерениям
  5. Без нагрузки на поверхности засыпки для однородного грунта
  6. Ближайшая подготовка.
  7. В учебном центре «Призыв» в рамках учебной дисциплины «Введение в военную профессию» осуществляется подготовка к успешному прохождению профессионально-психологического отбора

 

Подготовка поверхности – первый этап в процессе металлизации, включающий в себя следующие стадии:

Подготовка поверхности детали к металлизации состоит из следующих операций: очистка и обезжиривание деталей от грязи, влаги, окислов и жира; предварительная механическая oбрaбoтка; обрaбoтка пoверхнoсти для oбрaзoвaния шерoхoвaтoсти

Подготовка поверхности является важной операцией, от которой зависит адгезия наносимых впоследствии слоёв. В дальнейшем будет рассмотрено влияние адгезии на качество проведения металлизации.

Сначала с тех участков, где должен быть получен контакт с кремнием, удаляется Si02. Стандартными способами очистки являются химическая отмывка и ионная очистка в вакуумной камере непосредственно перед нанесением пленок с использованием инертных газов.

Перед метaллизaцией детaль также oбезжиривaют в рaствoре кaльцинирoвaннoй сoды и прoмывaют. Пoверхнoсти, не пoдлежaщие нaпылению, пoкрывaют изoляциoннoй лентoй или плoтнoй бумaгoй.

Поверхность подвергается механической обработкесмесью маршалита с полировальной известью и промывается. Затем химическая подготовкаповерхности заключается в обезжиривании в горячем щелочном растворе (сода, Na3PO4 + ПАВ) или в органических растворителях (спирт,ацетон), подтравливают в растворе хромового ангидрида или персульфата аммония и промывка водой. Сушка осуществляется при 80 – 100 0С в течении 10 минут. В специальном очистителе на основе H2SO4 и ПАВ платы одновременно обезжириваются и частично подтравливаются. Отверстия после сверления подвергаются гидроабразивной обработке для удаления заусенец и насоса эпоксидной смолы с помощью пистолетов – распылителей водной суспензии карбида бора или электрокорунда.

Для снятия окислов применяется вращающиеся щетки или круги из нетканого нейлона насыщенные абразивным материалом с одновременной подачей воды. Контроль чистоты производится по полноте смачивания фольги водой.

Поверхность диэлектрика для химического осаждения меди подвергают механической обработке – пескоструйной или гидроабразивной с порошком A2O3, затем платы промывают тёплой водой с протиркой щётками. Для получения микро-шероховатостей (для лучшей адгезии слоя меди) и повышения скорости связывания (увеличение функциональных групп) производится химическое модификация - обработка в растворах Cr6+, содержащих Na2Cr2O7 и концентрированной H2SO4. Поверхностный слой диэлектрика частично разрушается с присоединением –OH4 и –OSO3H групп. Затем платы промывают, нейтрализуют и снова промывают.

Для удаления эпоксидной смолы, наволакиваемой при сверлении, используется подтравливание в смеси кислот H2SO4 и HF, образуется ортосульфоновая кислота, переходящая в раствор. Для нейтрализации используется KOH или 10% Na2CO3. Образовавшиеся соли удаляют промывкой в горячей и холодной воде. При необходимости повторяются гидроабразивная и УЗ – обработка.

Предложен сухой способ плазменного травления в низкотемпературной плазме в смеси газов О2 и СF4. Плазма превращает смолу в легко летучее вещество, не требует промывок и сушек, процесс автоматизирован. Платы загружают в вакуумную камеру, откачивается воздух, впускаются газы и подают напряжение – возбуждается плазма, затем откачивают продукты реакции.

Создание шероховатости на поверхности металлизируемой детали может быть осуществлено механическими либо электрическими способами.
После обработки поверхности, на которую будет нанесен металл, можно переходить к процессу осаждения.

 


Дата добавления: 2015-08-05; просмотров: 105 | Нарушение авторских прав


Читайте в этой же книге: Введение | Понятие металлизации. | Процесс осаждения из парогазовых смесей. | Контроль толщины пленки в процессе осаждения | Испарение с использованием резистивного нагрева | Электронно-лучевое испарение | Ионное распыпение | Магнетронное распыление | Химическое осаждение из парогазовых смесей | Описание проблем |
<== предыдущая страница | следующая страница ==>
Виды металлизации| Адгезия.

mybiblioteka.su - 2015-2024 год. (0.006 сек.)