Студопедия
Случайная страница | ТОМ-1 | ТОМ-2 | ТОМ-3
АрхитектураБиологияГеографияДругоеИностранные языки
ИнформатикаИсторияКультураЛитератураМатематика
МедицинаМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогика
ПолитикаПравоПрограммированиеПсихологияРелигия
СоциологияСпортСтроительствоФизикаФилософия
ФинансыХимияЭкологияЭкономикаЭлектроника

Магниторазрядные манометры.

Конструкция | Принцип работы | Применение вакуума в промышленности и в быту. | Автоэлектронная эмиссия. | Электронно-лучевое напыление. | Ионно-плазменное напыление. Диодная система. | Установка ионно-плазменного напыления | Трехэлектродная система распыления | Вакуумно-дуговое напыление. | Процесс |


Читайте также:
  1. Магниторазрядные насосы
  2. Тепловые манометры.
 
Эти манометры были предложены Пеннингом, и их часто называют его именем. В них используется самостоятельный разряд в магнитном поле при высоком напряжении на холодных электродах. Анод в форме кольца расположен между двумя симметричными плоскими катодами. Напряжение составляет несколько киловольт; магнитное поле до 1000 гс перпендикулярно к системе электродов; при этом выполняются условия самостоятельного разряда Таунсенда, когда ионная бомбардировка катода порождает такое количество электронов, которое достаточно для воспроизводства исходного количества ионов. Пределы магниторазрядного манометра по давлению связаны с существованием самостоятельного разряда при очень низких или высоких давлениях. Нижний предел объясняется двумя явлениями. При малых давлениях концентрация молекул недостаточна для поддержания разряда; однако симметричные электроды Пеннинга и магнитное поле придают электронам колебательно-циклоидальное движение и тем обеспечивают существование разряда до давления 10 тор и ниже. Кроме того, нижний предет ограничен фоновым током из-за автоэлектронной эмиссии у острых краев высоковольтных электродов. Характеристика самостоятельного разряда имеет падающий характер, поэтому для ограничения тока разряда /р последовательно с анодом включают балластное сопротивление Re, которое ограничивает верхний предел по давлению. (115) Здесь Ua — анодное напряжение. С увеличением давления ток разряда Iр уменьшается. При высоком давлении он не зависит от давления. Для расширения пределов измерений магниторазряд-ных манометров применяют двухкамерные датчики-преобразователи (рис. 46). Большая камера датчика ММ-13 работает при низком давлении, она имеет большое балластное сопротивление Rб; малая камера имеет малое Ro. Переключение камер происходит автоматически: при давлении ниже 10-4 тор заметный ток течет только через большую камеру, а при большом давлении ток через большую камеру ограничен ее балластным сопротивлением. Поддержание разряда в малой камере осуществляется при помощи отверстия в общей катодной пластине. Основное достоинство магнитных манометров — простота и надежность, отсутствие накаленных деталей. Блок питания содержит в основном только выпрямитель, причем токи сравнительно велики и не требуют усиления. Однако у этих манометров хуже точность и больше разброс характеристик. Значительные токи разряда позволяют использовать датчик в качестве вакуумного реле, которое замыкает или размыкает блокировочные контакты вакуумметра для подачи аварийного сигнала или для отключения элементов, выходящих из строя при повышении давления.

 


Дата добавления: 2015-08-18; просмотров: 68 | Нарушение авторских прав


<== предыдущая страница | следующая страница ==>
Оборудование| Магниторазрядные насосы

mybiblioteka.su - 2015-2024 год. (0.005 сек.)