Студопедия
Случайная страница | ТОМ-1 | ТОМ-2 | ТОМ-3
АрхитектураБиологияГеографияДругоеИностранные языки
ИнформатикаИсторияКультураЛитератураМатематика
МедицинаМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогика
ПолитикаПравоПрограммированиеПсихологияРелигия
СоциологияСпортСтроительствоФизикаФилософия
ФинансыХимияЭкологияЭкономикаЭлектроника

I.3.4. Контроль отрезанных пластин

I.1. Выбор способа разделки и резки кристаллов | I.3.1. Установка АКВР | I.3.2. Закрепление секций и буль | Выбор инструментов и режимов резки | Погрешности формы пластин | Термические испарители и напыляемые материалы. | Термические (поверхностные) испарители из проволоки и металлической фольги | Температура подложки. | II. ПОРЯДОК ВЫПОЛНЕНИЯ РАБОТЫ. |


Читайте также:
  1. Assessment and testing - контроль
  2. II. Контрольна робота.
  3. III КОНТРОЛЬ УМА
  4. III. Контроль за организацией выплаты пенсии
  5. Oslash; Компоненти робочої програми навчального предмету:поточний контроль, опер. цілі
  6. VII. Контрольные уроки, зачетный показ, экзамен.

После того, как настроен станок и выбраны режимы резки, проводят контроль реза. По времени реза контрольной пластины определяют скорость продольной подачи и при необходимости корректируют её.

Положение плоскости среза контрольной пластины определяется на рентгенгониометре (рис.7) по отношению к атомной плоскости, оррентация которой известна. Для измерения угла среза выбирается ближайшая к нему атомная плоскость, обладающая интенсивностью отражения не меньше 0,5% интенсивности минимально отражающей атомной поверхности. Выбранная атомная плоскость должна составлять угол d с плоскостью реза, несколько меньше угла q Брегга.

Рис.6

Устойчивые (_) и неустойчивые (_ _ _) к скалыванию (а) и двойникованию (d) направлению резки ниобата и танталата лития (а) и кварца (б).

 

Рис.7

Схема рентгенгониометра.

 

Рентгеновские лучи с длиной волны a = 0,15405 нм от рентгеновской трубки 1 с медным анодом проходят через бериллиевое окно 2, компенсатор 3, представляющий собой металлическую трубу с вертикальной и горизонтальной щелями на концах, селективный никелевый фильтр 4 к пластине 5, закрепленной в приставке 6, угол поворота которой фиксируется на дисковой шкале 7. Если пластину с параллельными гранями и атомными плоскостями (hk.l) уста-

новить так, чтобы угол А был равен углу Брэгга qhk.l, то рентгеновские лучи отразятся от него под углом Брэгга qhk.l через горизонтальную 8 и вертикальную 9 щели, достигнут детектора рентгеновского излучения 10, установленного под углом 2 qhk.l и фиксируются счетчиком 11 и регистратором максимальной интенсивности отражения 12.

Условие дифракции рентгеновских лучей с длиной волны на атомных плоскостях кристалла известно как закон Вульфа-Брэгга:

nl=2d · sinqhk.l, (2)

где n -порядок отражения;

d- межатомное расстояние.

Если же атомная плоскость не параллельна грани, а находится под d углом, то прибор покажет максимум отражения при повороте контрольной плаcтины на угол A= qhk.l + d (3)

Угол d положителен, если угол среза по абсолютному значению больше соответствующего угла атомной плоскости. Если измеренный угол клина dzn, отличается от заданного dz0 на величину D dz называемую поправной по оси Z ':

D dz = dzn - dz0 (4)

то её значение записывается на стороне пластины, противоположной измеряемой.

Аналогично определяется поправка D dx по оси X. По определенным поправкам осуществляется коррекция угла среза пластины поворотом разрезаемой секции или були вместе с держателем в горизонтальной или вертикальной плоскости стола. Ручной поперечной подачей устанавливают требуемый шаг резки, учитывая не только толщину отрезаемой пластины, но и ширину реза. После чего отрезается вторая контрольная пластина, по которой контролируют её геометрические размеры (толщину), непараллельность сторон (клиновидность), неплоскостность, прогиб, а также отклонение плоскости реза от заданной ориентации. Если необходима дополнительная настройка, то поворачивают держатель с оправкой и секцией (или булей) на угол разориентации, корректируют поперечную подачу, подтягивают диск и др.

Толщина пластины измеряется в её центре микрометром с ценой деления 0,01 мм. Клиновидность и разнотолщинность пластины - индикатором часового типа с ценой деления 1мкм либо оптиметром. Прогиб пластины (выпуклость или вогнутость срединной части пластины относительно её краёв) может быть определен прямыми измерениями разностенным методом.

 


Дата добавления: 2015-11-14; просмотров: 101 | Нарушение авторских прав


<== предыдущая страница | следующая страница ==>
Условия, режимы и технические показатели резки кварца на пластины АОК, АКВР, полотнами и проволокой.| II. ПОРЯДОК ВЫПОЛНЕНИЯ РАБОТЫ

mybiblioteka.su - 2015-2024 год. (0.006 сек.)