Читайте также:
|
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
____________________________________________________________________
ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 1
по курсу «Микроэлектромеханические системы»
_________________________________________________________
1. Микромеханическая обработка. Объемная микрообработка. Поверхностная микрообработка.
2. Постановка задачи, технологические методы решения,
способы расчета и проектирования, способы изготовления, анализ и контроль.
3. Методы съема полезного сигнала.
_________________________________________________________________
Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.
Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./
_________________________________________________________________________________
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
____________________________________________________________________
ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 2
по курсу «Микроэлектромеханические системы»
_________________________________________________________
1. МЭМС определение, назначение, области применения, перспективы развития.
2. Метод формирования структур BESOI.
3. Микрозеркала, микрооптомеханические приборы.
_________________________________________________________________
Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.
Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
____________________________________________________________________
ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 3
по курсу «Микроэлектромеханические системы»
_________________________________________________________
1. Проводящие материалы для изготовления МЭМС.
2. Метод формирования структур КСДИ.
3. Микромеханические гироскопы, основные конструктивные варианты. Принцип функционирования.
_________________________________________________________________
Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.
Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./
_________________________________________________________________________________
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
____________________________________________________________________
ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 4
по курсу «Микроэлектромеханические системы»
_________________________________________________________
1. Полупроводниковые материалы для изготовления МЭМС.
2. Формирование составных островковых структур КНИ.
3. Микрокантилеверы и микрозонды.
_________________________________________________________________
Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.
Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
____________________________________________________________________
ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 5
по курсу «Микроэлектромеханические системы»
_________________________________________________________
1. Микромеханика в технологии микроэлектроники. Микроэлектронные способы формирования элементов МЭМС.
2. Формирование структур методом газового скалывания. Формирование структур методом ELTRAN.
3. Технологический маршрут изготовления микроакселерометров.
_________________________________________________________________
Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.
Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./
_________________________________________________________________________________
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
____________________________________________________________________
ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 6
по курсу «Микроэлектромеханические системы»
_________________________________________________________
1. Кремний в МЭМС. Назначение, основные свойства.
2. Методы формирования структур кремний на изоляторе.
3. Датчики давления, основные конструкции. Принципы функционирования.
_________________________________________________________________
Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.
Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
____________________________________________________________________
ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 7
по курсу «Микроэлектромеханические системы»
_________________________________________________________
1. Многокомпонентные стекла в МЭМС. Назначение, основные свойства.
2. Формирование сложнопрофильного рисунка методом свободных масок.
3. Микроприводы, микрореле, микродвигатели
_________________________________________________________________
Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.
Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./
_________________________________________________________________________________
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
____________________________________________________________________
ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 8
по курсу «Микроэлектромеханические системы»
_________________________________________________________
1. LIGA технология.
2. Технология изготовления структур КНС.
3. Корпусирование и сборка МЭМС. Основные требования.
_________________________________________________________________
Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “_ _14 ___”______ декабря 2011 г.
Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./
Дата добавления: 2015-10-29; просмотров: 54 | Нарушение авторских прав
| <== предыдущая страница | | | следующая страница ==> |
| СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ ГОСУДАРСТВЕННОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ЭКОНОМИКИ | | | МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ |