Схема установки:
Работа проводилась в высоком вакууме~10^-6-10^-7.
В работе использовался кремний n типа КЭФ 2.5 и Алюминий, представленный в виде проволоки.
В работе была использована молибденовая лодочка.
Алюминий при температурах близких к Tпл взаимодействует с молибденом с образованием фазы эфтетика, что привело к термическому разрушению лодочки, так же это повлияло на качество пленки: в силу того что напылялся не чистый алюминий и на не подготовленную поверхность, получилась крайне неравномерная пленка. Шероховатости достигают 6 мкм. В наиболее ровных местах толщина пленки составляет 0.81 мкм что соответствует требуемой толщине напыления. 
Вольт-амперныех характеристики полученной структуры:
Вывод: В ходе работы ознакомился с методами термонапыления. Получил тонкую пленку алюминия на кремнии, Измерил ее вольтамперные характеристики и толщину. Рассмотрел диаграммы взаимодействия алюминий-молибден, сделал соответсвующие выводы о ошибках допущенных при проведении работы.
Дата добавления: 2015-10-21; просмотров: 28 | Нарушение авторских прав
| <== предыдущая лекция | | | следующая лекция ==> |
| Освоить методы получения тонких металлических пленок, получить практические навыки работы на вакуумной установке ВУП-4, изучить микроинтерферометр МИИ-4 и характериограф Л2-56. | | | Аттестационная программа технического уровня подготовки по боевому многоборью |