Сравнительная таблица методов исследования поверхности

Сравнительная таблица методов исследования поверхности

Метод	Зонд. частицы	Рег. частицы	Опред. эл.	Чувств-сть (в моносл.)	Глубина зондирования	Анализ по глубине	Колич. анализ	Локальный анализ
SIMS	Ar^+ (O2^+)	распылённые ионы	H – U	10^-5	6-10 Å	да (разрушающий)	относит.[1]	да
RBS	He^+, H^+	рассеянные ионы	Be – U	10^-4 – 10 ^([2])	100 Å	да (неразрушающий)	абсолютный	нет[3]
NRA	p, n,…	γ	H, B, C, O	0,1	100-1000 Å	да (неразрушающий)	абсолютный	нет
EDX	e	рентген	Na – U[4]	0,5	10 000 Å	нет	формально абсолютный[5]	да!
AES	e	Оже-электроны	Li – U[6]	0,1	20 Å	да (разрушающий)	относит.	да
XPS	рентген	фотоэлектроны	Li – U	0,1	30 Å	нет	относит.	нет

[1] Много влияющих факторов, используют эталоны. С одной стороны, ситуация стандартная, с другой стороны, эти эталоны довольно сложно получить, поскольку они должны быть близки к образцу.

[2] Чем тяжелее элемент, тем точнее он определяется.

[3] Слішком высокая энергия пучков, сложно манипулировать

[4] У элементов легче натрия слишком слабый сигнал. На физфаке более широкий спектр можно определить (C – U)

[5] Оператор спросит: «Вам надо концентрации?» Вы скажете: «Да». Но нужно иметь в виду, что количественный результат является результатом компьютерной обработки, алгоритмы которой работают неизвестно как. По крайней мере, изобретены они для гомогенных образцов. Так что, например, для тонкой пленки на подложке такой метод не идет.

[6] Ориентирован в первую очередь на легкие элементы, поскольку в них электроны релаксируют преимущественно по безызлучательному механизму

Дата добавления: 2015-08-28