Модель роста оксида Дила-Гроува (Deal-Grove)
Выводы предыдущего раздела позволяют рассмотреть в процессе термического окисления три потока молекул кислорода (рис.).
1. Поток молекул из газовой среды к внешней поверхности пластины, на которой в начальной стадии происходит реакция (кислорода с кремнием), а затем – адсорбция кислорода на формирующемся оксиде - поток F1
2. Поток молекул, диффундирующих через оксид SiO2 к кремнию Si - поток F2
3. Поток молекул O2, вступающих в реакцию с Si на границе раздела SiO2 /Si - поток F3
В равновесных условиях три рассмотренных потока равны между собой, при этом скорость формирования оксида определяется самым медленным из них.
Поток F1 определяется разностью между …………………………………………………………………….
…………………………………………………………………….……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
 |
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
2.
Дата добавления: 2015-11-05; просмотров: 27 | Нарушение авторских прав
| <== предыдущая лекция | | | следующая лекция ==> |
| Перелік контрольних та підсумкових питань з основ екології | | | Эту систему запустили давно, еще до моего рождения. Людей, которых считали отбросами общества, тюремщиков, безработных, больных, сирот отправляли в заповедник. Также сюда отправляют и добровольцев, |