Студопедия
Случайная страница | ТОМ-1 | ТОМ-2 | ТОМ-3
АрхитектураБиологияГеографияДругоеИностранные языки
ИнформатикаИсторияКультураЛитератураМатематика
МедицинаМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогика
ПолитикаПравоПрограммированиеПсихологияРелигия
СоциологияСпортСтроительствоФизикаФилософия
ФинансыХимияЭкологияЭкономикаЭлектроника

Лабораторная работа № 5. Тема: Оптимизация фотолитографического процесса.

Лабораторная работа № 1. | Лабораторная работа № 2. | Лабораторная работа № 3. | Лабораторная работа №7 | Лабораторная работа №8 |


Читайте также:
  1. C) Работа над когнитивными структурами и неправильной атрибуцией
  2. IV. Практическая работа.
  3. IV. Работа над новым материалом.
  4. IV. Работа с текстами.
  5. IV. Словарная работа.
  6. V Вам не нужно принимать решения, начислять проценты и работать с должниками- Это наша работа
  7. V. Лабораторная диагностика сибирской язвы

Тема: Оптимизация фотолитографического процесса.

Цель работы:Оптимизировать условия сушки ФП 9120 методом факторного планирования эксперимента типа 23.

Используемое оборудование и материалы: центрифуга для нанесения тонких слоев на подложки, фоторезист ФП 9120 (2007 г), этиловый спирт для обезжиривания поверхности, проявитель КОН, УФ лампа, сушильный шкаф, кремниевые пластинки.

Экспериментальная часть:

1. Подготовили кремниевые пластинки для нанесения фоторезиста путем обезжиривания поверхности этиловым спиртом.

2. Нанесли фоторезист методом центрифугирования в течение 1мин. со скоростью 2000 оборотов/мин.

3. Проводили предэкспозиционную сушку при Т=70°С и Т=80°С, время сушки

t= 40 мин.

4. Облучали в течение 45 сек. и 75 сек.

5. Проявляли в растворах КОН концентрацией 0,5 и 0,3.

 

Таблица 1 Области интервалов варьирования факторов

Наименование Кодовое обозначение факторов Значения факторов в натуральном масштабе
Т, 0С t, с СКОН,%
Температура сушки резиста Х1      
Время сушки резиста Х2      
Концентрация проявителя Х3      
Основной уровень       0,4
Интервал варьирования Δj     0,1
Верхний уровень +1     0,5
Нижний уровень -1     0,3

 

 

Таблица 2. Матрица планирования, условия проведения и результаты опытов

X1 X2 X3 T°C tобл Сkoh,% tпр tразр τ1 tпр tразр τ2 τср S2
  + + +     0,5     2,833     1,5 1,5  
  - + +     0,5     1,333     1,15 1,2415 0,016745
  + - +     0,5     1,186     1,5 1,343 0,049298
  - - +     0,5     1,326     1,1 1,213 0,025538
  + + -     0,3     1,188     1,375 1,2815 0,017485
  - + -     0,3     1,1875     1,177 1,18225 5,51E-05
  + - -     0,3     1,666     1,646 1,656 0,0002
  - - -     0,3     1,095     1,135 1,115 0,0008
                            ΣS2=0,110120125

 

1. Проверка воспроизводимости опытов

Провели расчет дисперсии S2, рассчитали сумму дисперсииΣS2 и расчетное значение критерия КохренаG по формуле:

Процесс воспроизводим, так как расчетное значение критерия Кохрена (0,447675) меньше табличного значения (0,68).

2. Расчет коэффициентов в уравнении регрессии

Уравнение регрессии: y = b0 + b1×X1 + b2×X2 + b3×X3 + b12×X12 + b13×X13 + b23×X23 + b123×X123

b0 b1 b2 b3 b1×b2 b1×b3 b2×b3 b1×b2×b3
1,316531 0,128594 -0,01522 0,007844 -0,03916 -0,03147 0,061594 0,071281
значим значим не значим не значим не значим не значим не значим значим

 

3. Проверка значимости коэффициентов регрессии

Дисперсия среднего значения: Sy2 = ΣS2/8 = 0,013765016

Поскольку 2 параллели, то: Sy2 = 0,013765016/2 = 0,006882508

Табличное значение коэффициента Стьюдента для 8 опытов составляет 2,31.

В данной работе составляет 0,0677. Для определения значимости коэффициенты в уравнении регрессии должны быть больше по модулю, чем 0,0677. Значит значимыми коэффициентами являются b0, b1 и b1×b2×b3.

Тогда уравнение регрессии примет следующий вид: Y =1,316531 + 0,128594×X1 + 0,071281×X123

 

4. Проверка адекватности модели

Формула для расчета дисперсии адекватности:

)

τcp τтеор Sад Критерий Фишера
1,5 1,5164 0,01057 1,53674
1,241 1,1166
1,343 1,3738
1,213 1,2592
1,281 1,3738
1,182 1,2592
1,656 1,5164
1,115 1,1166

 

Критерий Фишера рассчитывается: Fэксп= Sад/ Sсрy2= 1,53674

Табличное значение критерия Фишера Fтабл (f1,fад), где f1=N-(число параллельных опытов -1)

f1=7, fад=5, Fтабл = 4,88 Fтабл˃ Fэксп =˃ МОДЕЛЬ АДЕКВАТНА.

 

Вывод: В ходе проделанной лабораторной работы мы оптимизировали условия сушки ФП 9120 методом факторного планирования эксперимента типа 23. Проверили воспроизводимость опытов – процесс воспроизводим. Рассчитали коэффициенты в уравнении регрессии и проверили их значимость, значимыми коэффициентами являются b0, b1 и b1×b2×b3. Так провели проверку адекватности модели, модель является адекватной.


Дата добавления: 2015-08-17; просмотров: 42 | Нарушение авторских прав


<== предыдущая страница | следующая страница ==>
Лабораторная работа № 4.| Лабораторная работа №6

mybiblioteka.su - 2015-2024 год. (0.008 сек.)